高純氬氣廢氣處理

高純氬氣廢氣處理可采用靜電吸附技術，VOCs廢氣處理吸附+解吸工藝氬氣廢氣處理吸附+解吸工藝。

吸附：VOCs高純氬被吸附在吸附劑的多孔結構中，含VOCs的廢氣通過吸附劑床，潔凈氣體排放到大氣中;

解吸：主要利用熱源將吸附劑氣化，再由載體進行高純氬氣體廢氣處理，吸附劑吸附飽和以后失去吸附性能，需要解吸再生;

吹掃：吸附劑也相應加熱在加熱氣化過程中，溫度低有利于吸附，因此需要降低吸附劑的溫度。

靜電吸附技術：

高純氬靜電吸附技術焊接煙氣隨氣流進入高壓電場，內部電場為雙區結構，前面的區域是帶電區(離子區)，煙霧在電場中通過帶電區受到電暈放電產生的大量電荷的沖擊和電離，使懸浮在空氣中的煙霧顆粒帶電。

高純氬氣

液氬是一種惰性氣體，對人體沒有直接危害。但是，如果工業使用后產生的廢氣對人體健康非常有害，會造成歸肺、眼睛損傷等，雖然是惰性氣體，但也是窒息性氣體，但大量吸入會導致窒息。生產現場應通風，氬氣相關技術人員每年應定期進行職業病體檢，以確保其健康。氬氣本身不會燃燒，但含有氬氣容器和設備的明火的高溫會急劇增加內部壓力，使其爆裂，并用水冷卻滅火容器。

高純氬氣的制備裝置

一級凈化塔TY：內裝碳質脫氧劑，主要用于O2等雜質的脫除，塔內設置有電加熱器，含量為99.9％的工業純氬物流在200～320℃下脫除其中的雜質氧，并達到出口氣中O2≤1ppm；換熱器RJ1通過管道與一級凈化塔相連，將一級凈化塔的出口氣降溫至室溫；

二級凈化裝置：用于在室溫下除去雜質CO2和H2O，由兩個并聯的吸附塔XF1和XF2組成，塔內裝填分子篩吸附劑、塔內設有用于分子篩再生加熱的電加熱器，兩分子篩吸附塔XF1和XF2的進口管分別經電磁閥DF1和DF2后，再經總管與換熱器RJ1出口相連，兩吸附塔XF1和XF2的出口管分別串接高的過濾器GL1、電磁閥DF5以及高的過濾器GL2、電磁閥DF6后、再與總管L2相連；且GL1和GL2的出口之間由管路L3連通，管路L3上設置有電磁閥DF7；XF1和XF2的進口上分別接有放空管，兩放空管上分別設置有電磁閥DF3和DF4；

三級凈化塔HT：塔內裝填金屬吸氣劑，塔內設有電加熱器，塔的進口管與管路L2相連，塔的出口管上順次設置有換熱器、高的過濾器GL3。