愛德華真空泵維修之前首先應摸清它的底細，即該泵制造工藝情況、使用情況、原始參數數據、日前：A況、故障前的使用環境、負材狀況、故隙現象嬸，然后根據操作使用者的反映，以及親自觀察和試仙測所掌搬的資料，述立起該設備的檔案卡片，記載下所了解的情況和維修簡歷，綜合判斷該泵故障原團和部位，對癥下藥，這些故障是可以排除的

主要特性和優勢

真空外殼中 不需要使用潤滑劑，完全密封可保證的清潔和干燥真空， 防止交叉污染

無大氣壓到 真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能 以更低溫度運行，使用時間更長

簡單的單側 滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合，只需低程度的 特殊工具，就能實現輕松的現場服務，因此可降低運行成本， 盡可能延長正常運行時間

改進了電機和 傳動效率，可降低功耗和運行成本

真空泵維修的結構特征以及零部件磨損規律，通常采用以下兩類典型的維修方式。

1、事后維修

它是指機械設備發生故障后才進行的維修。它包括查找故障部位、進行修復或更換零部件、調整、驗收等一系列技術活動，是一種古老的維修方式，僅適用于安全性、可靠性要求不高的情況。

2、預防維修

預防維修是指機械未發生停機故障或損失之前所進行的維修。隨著設備或系統結構的日趨復雜，以及因發生故障所造成的經濟損失日益增大，那種只通過事后維修的方法越來越滿足不了需要，采用預防維修是不可缺少的。

的艙室抽空時間可減少 總體平均循環時間 (TACT)

僅僅 0.55kW 的功耗 有助于減少客戶擁有成本

環保模式可以在空閑 期間多減少 92% 的功耗

35oC 的水 供給有助于降低設備冷卻水要求

且極輕， 有助于節省寶貴的工廠空間

適用于嚴苛應用的大型 iXL 干泵

iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗。可用于輕負載應用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的且安靜的泵之一。此產品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎上構建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過環保模式可在空閑期間降低設備 使用率，從而降低成本并幫助保護環境。

平時真空泵在工作前工作中及工作結束注意事項基本上跟常規真空泵維修保養一樣的了。保持關注真空泵的工作狀態，維修一定要及時、迅速，這樣真空泵的正常運行才能得到保證。

進口真空泵系列產品，在泵行業的維修項目中對于廠家在日常檢查中需要進行針對性的維修類的檢查和維護，主要的日常檢查項目有檢查運行的正常情況以及、真空泵背壓值、報警信息察看、手閥狀態、機械結構的正常與否、特氣管路、管路聯接以及有無漏水，這都是需要我們在日常維護檢查的時候進行檢查，這也是針對這款維修泵維修前的準備事項。

實踐證明，Edwards 半導體真空泵能夠達到運行標準。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

iH80

iH160

iH600

iH1000

iH1800

iH1800HTX