維護和保養方法
1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上,應清潔工作室一次。
方法是:用(NaOH)飽和溶液反復擦洗真空室內壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應,反應后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽閥內的污垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續工作一個月(雨季減半),需更換新油。
方法是:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數秒,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年以上,換油時應將油蓋打開,用布擦干凈箱內污垢。
3、擴散泵連續使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水清洗干凈,待水份揮發干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵,關好大門,數分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環,無法進入工作狀態。
真空蒸發鍍膜
真空蒸發鍍膜是指在真空條件下,通過蒸發源加熱蒸發某種物質使其沉積在基板材料表面來獲得薄膜的一種技術。被蒸發的物質被稱為蒸鍍材料。蒸發鍍膜早由 M.法拉第在 1857年提出,經過一百多年的發展,現已成為主流鍍膜技術之一。
真空蒸發鍍膜系統一般由三個部分組成:真空室、蒸發源或蒸發加熱裝置、放置基板及給基板加熱裝置。在真空中為了蒸發待沉積的材料,需要容器來支撐或盛裝蒸發物,同時需要提供蒸發熱使蒸發物達到足夠高的溫度以產生所需的蒸汽壓。
真空蒸發鍍膜技術具有簡單便利、操作方便、成膜速度快等特點,是應用廣泛的鍍膜技術,主要應用于光學元器件、LED、平板顯示和半導體分立器的鍍膜。真空鍍膜材料按照化學成分主要可以分為金屬/非金屬顆粒蒸發料,氧化物蒸發料,氟化物蒸發料等。