航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。

氦質(zhì)譜檢漏儀用于對容器或器件的密封性進(jìn)行檢測，對被檢件泄漏點(diǎn)進(jìn)行定性、定量和定位的檢測。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng)，將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場當(dāng)中，利用帶電離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)效應(yīng)，使氦離子與其它離子分離，通過對此氦離子信號的接收、放大和顯示，從而反映出被測器件的密封性。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態(tài)的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學(xué)性能穩(wěn)定。在檢測器件的密封性能時(shí)，遇到器件大漏時(shí)，有大量的氦氣進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，短時(shí)間內(nèi)儀器內(nèi)部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染。