氦質譜檢漏儀為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

檢漏步驟為:極限壓力、升壓率都不合格這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點，檢漏步驟為: .1.用內徑0.5mm左右的針頭從機械泵到爐體快速的噴吹一遍，會很快發現漏點，這時發現的漏點都較大，然后應立即焊接處理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會明顯提高。2.第二遍檢漏，進行第二遍檢漏時速度要較遍慢些， 重點檢查表面不規整的焊口、法蘭接縫處、動密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。

因此,電力行業對高壓電氣設備及其配套產品在密封性能上要求極高，氦質譜正壓檢漏法。給被檢件內腔充入與設備工作壓力相同的氦氣,置入封閉容器中,將封閉容器與氫質譜檢漏儀連通，待氦質譜檢漏儀指示可檢時,被檢件內的氦分子在壓差的作用下通過漏孔進入設備內的質譜室，氦質譜檢漏儀經過分析后自動指示出被檢件的漏率。氦質譜負壓檢漏法，將被檢件裝在氦質譜檢漏儀上，對被檢件抽真空，當達到檢漏儀的開檢壓力后，對被檢件漏點處噴氦氣，氦分子在壓差的作用下通過漏孔進入設備內的質譜室,氦質譜檢漏儀經過分析后自動指示出被檢件的漏率

對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；氦質譜檢漏主要領域：空調制冷工業——壓縮機、冷凝器、蒸發器及閥門等；真空科學與工業——泵、閥門、真空規管以及鍍膜機、真空爐等真空系統；檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。