真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點

真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統：為自動控制型，由面板、PLC系統(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統，真空箱抽氣系統的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。

2.系統檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統關閉V1，打開V2

2)、充氦系統通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩定，關閉V2

3)、關閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統指揮關斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。

4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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充氣開關柜檢漏設備

由于工件內外壓差不能大于0.04Mpa,抽空過程中系統可通過電氣控制部分控制工件內外基本等壓，如果壓力差超過設定值，則抽速較快的泵自動停止，等壓力差達到規定要求時，泵自動運行，直至真空箱和工件內的真空度均達到規定值。系統自動記錄、存儲抽真空、充氦、氦檢過程中的工件和真空箱的壓力變化情況。系統同時具有自我診斷與報警功能，顯示各種故障信息。鹵素法先前一般的制冷器都采用鹵化物為冷媒，當灌注冷媒封口以后，用鹵素檢漏儀的探頭在司疑之外尋找漏點，發現漏點就會聲光報警，漏點和漏率也就相對確定了。

電氣系統同時具有自我效準、連鎖保護和報警功能，以及急停按鈕，確保系統本身運行可靠安全和被檢工件的安全。為了保證工件的安全，系統中采用壓力和真空傳感器同時使用的方式，以防止傳感器失效而對系統造成的傷害。

結構主要采用電腦觸摸屏的集散式半導體模塊控制系統，分散與集中控制相結合，層次分明、成本低廉、維護方便。上位機采用工控機，用于向PID發布指令、系統運行狀態集中管理。

控制系統同時具有自我診斷與報警功能，顯示各種故障信息。控制系統同時具有自我校準、連鎖保護和報警功能，確保系統本身運行可靠安全和被檢工件的安全。

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氦質譜檢漏儀

鐘罩法

將氦質譜檢漏儀與試件用真空橡皮管連接，在試件上用密閉的容器罩住，在容器里充入氦氣，檢漏儀開始檢漏，如果試件有漏點，儀器就可以顯示其漏率;這種方法可以測量液體儲料罐的漏率，在罐體外罩氦罩采用塑料薄膜，對罐體進行粗抽和預抽，在用標準漏孔校對檢漏儀，對氦罩進行充氦，就可以測出罐體的漏率

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