消費者應用這種氦質譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產品擁有良好的應用價值，在我國更多的產品漏率檢查之中原先更好的技術支持，因此氦質譜檢漏儀的優勢更保證了我國產品漏問題檢查的質量。檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數量級,儀器響應快,

氦質譜檢漏設備檢漏過程中，如發現大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。氦質譜檢漏主要領域：電力工業——高壓開關、避雷器、發電廠冷凝器系統；電力工業——電子器件、半導體、傳感器和積成電路；

質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

檢漏步驟為:極限壓力、升壓率都不合格這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點，檢漏步驟為: .1.用內徑0.5mm左右的針頭從機械泵到爐體快速的噴吹一遍，會很快發現漏點，這時發現的漏點都較大，然后應立即焊接處理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會明顯提高。2.第二遍檢漏，進行第二遍檢漏時速度要較遍慢些， 重點檢查表面不規整的焊口、法蘭接縫處、動密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。