便攜式能譜儀

X 射線能譜儀作為掃描電鏡的一個重要附件，可被看成是掃描電鏡 X 射線信號檢測器。其主要對掃描電鏡的微區成分進行定性、定量分析，可以分析元素周期表中從 B-U 的所有元素信息。其原理為：掃描電鏡發出的高能電子進入樣品后，受到樣品原子的非彈性散射，將能量傳遞給該原子。該原子內殼層的電子被電離并脫離，內殼層上出現一個空位，原子處于不穩定的高能激發態。

在激發后的 10-12s 內原子便恢復到很低能量的基態。在這個過程中，一系列外層電子向內殼層的空位躍遷，同時產生 X 射線，釋放出多余的能量。對任一原子而言，各個能級之間的能量差都是確定的，因此各種原子受激發而產生的 X 射線的能量也都是確定的。

便攜式γ能譜儀

便攜式γ能譜儀探頭部分由探測器（閃爍體）、光電倍增管和前置放大器構成。閃爍體是一類能吸收能量，并能在大約一微秒或更短的時間內把所吸收的一部分能量以光的形式再發射出來的物質。由于γ射線不同于α和β粒子，它類似于光和其它電磁輻射，具有很強的穿透性，容易被高電子密度的物質所吸收（如鉛），某些無機鹽能有效地吸收γ光子，發射出強度正比于所吸收γ射線能量的光子。當射線通過閃爍體時，閃爍體被射線電離、激發，會使閃爍體探測器產生熒光，光子被光電倍增管所接收。

所探測到的γ射線能量越高，所產生的熒光光子數目也*越多，再由光電倍增管實現光子到脈沖信號的轉換，經電路信號處理完成模/數轉換輸出。閃爍體探測器也是近幾年來發展快速。

便攜式能譜儀

便攜式丫能譜儀探頭部分由探測器(閃爍體)、光電倍增管和前置放大器構成。例如閃爍體,用來探測丫 射線,效率較高。當射線通過閃爍體時,閃爍體被射線電離、激發,會使閃爍體探測器產生熒光,光子被光電倍增管所接收。所探測到的 射線能量越高,所產生的熒光光子數目也就越多,再由光電倍增管實現光子到脈沖信號的轉換,經電路信號處理完成模/數轉換輸出。閃爍體探測器也是近幾年來發展快速,應用廣泛的探測器。