分子泵：分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

射流真空泵價格根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類：(1)一般水泵，壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。(2)油泵，壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。(3)擴散泵，壓強可達0.133Pa以下，(10-3mmHg)為"高"真空。若要較低的壓力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。在有機化學實驗室里常用的減壓泵有水泵和真空泵兩種，若不要求很低的壓力時，可用水泵，如果水泵的構(gòu)造好且水壓又高，抽空效率可達1067~3333Pa。水泵所能抽到的低壓力理論上相當于當時水溫下的水蒸氣壓力。例如，水溫25℃、20℃、10℃時，水蒸氣的壓力分別為3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽氣時，應(yīng)在水泵前裝上安全瓶，以防水壓下降，水流倒吸；停止抽氣前，應(yīng)先放氣，然后關(guān)水泵。

進水管的進水口方位不對①進水管的進水口離進水池底和池壁間隔小于進水口直徑。若是池底有泥沙等污物時，進水口離池底的間隔小于直徑的1.5倍時，會形成抽水時進水不暢或吸進泥沙雜物，阻塞進水口。②進水管的進水口入水深度不行時，這樣會引起進水管周圍水面發(fā)生漩渦，影響進水，削減出水量。正確的裝置辦法是：中小型水真空泵入水深度不得小于300～600mm，大型水真空泵不得小于600～1000mm。