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掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀,但由于其本身具有許多的優點,發展速度是很快的。
1 儀器分辨率較高,通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節,采用LaB6電子,可以進一步提高到3nm。
2 儀器放大倍數變化范圍大,且能連續可調。因此可以根據需要選擇大小不同的視場進行觀察,同時在高放大倍數下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。
現在我們發現束流的設置應該是隨著放大倍數而變換的,對于TESCAN用戶來說,比較方便,可以直接從軟件中讀取當前電鏡調節對應的束流,結合視野寬度很容易知道單點像素的大小,從而快速找到束斑與像素匹配的工作條件。既保證了沒有信息丟失,又保證了的束流強度和信噪比。
此外對于EBSD分析也一樣,EBSD分析為了追求速度,需要較大束流,而束流增大會增大束斑,導致花樣重疊無法標定。而TESCAN用戶則可以輕易的根據EBSD的步長來設置束斑大小,確保在不會出現花樣重疊的情況下束斑達到,采集速度快。