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為確保無塵室工程潔凈廠房的正常生產和工作,應設置一套較完整的自控裝置,實現以下功能:潔凈室空氣潔凈度、溫濕度、壓差監控、風閥調節、高純氣體、純水和循環冷卻水的溫度、壓力、流量的檢測、氣體純度、純水水質的監測等。百級無塵車間的環境對產品有哪些影響?在百級無塵車間內出產環境是有必要的,就是必需求抵達產品需求的參數,特別是高精密芯片等電子產品出產能否進行出產的關鍵因素。
無塵室噪音控制:FFU的風機一般為幾臺甚至幾十臺并聯使用,當設計時要考慮FFU噪音的疊加,保證《潔凈室廠房設計規范GB0073-2001》中明確規定“潔凈室內的噪音級(空態),非單向流潔凈室不應大于60dB,單向流、混合流潔凈室不應大于65dB”的要求。因此在選擇風機時zui好選擇、壓出式、直驅后徑向葉片風機,這樣可以降低整體噪音。
比如說在微電子工作的芯片出產過程中,對微粒的控制要抵達分子級,該工作對出產環境要求非??量蹋绮粷M意出產的環境需求就無法進行出產,或者說出產出來的產品都是報廢品,無法運用。無塵室需要注意的細節問題:風管要求經濟與效率并重,在無塵車間工程集中或凈化空調系統中,對風管的要求是既經濟又能有效地送風。前者要求體現在價格低廉,方便施工,運行成本,內表面光滑阻力小。后者是指嚴密性好,不漏氣,不發塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。負壓密封,FFU送風系統的靜壓箱為負壓,因此即使風口安裝存在泄漏,也是從無塵室向靜壓箱泄漏,不會形成對無塵室的污染。
千級無塵室的濕度要求是多少?無塵室不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理,可采用亞過濾器代替過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理,應采用初、中、過濾器三級過濾器;中效或空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節的正壓段;或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。