氦氣

氦氣穿透能力強，且易，對漏點有很好的檢出能力，可讓細微小洞無處可逃。氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。當泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉換器的靈敏度可達1′10-2cm3/s。因為氦原子的尺寸很小。用氦氣穿過小洞而進入到管殼內部，氦氣檢漏方法能夠檢測出尺寸很小的小洞，靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡便。氦氣檢漏方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過小洞而進入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。

氦氣檢漏儀進行氦氣檢漏方法操作：

1、抽真空至5Pa以下就可以開始檢測；

2、插上檢漏儀電源，關閉上部手動擋板閥，開啟檢漏儀總電源，此時，“放氣”燈亮起，等待系統運行；

3、當“系統正常”及旁邊的兩個燈都顯示為綠色時，觀察預置參數，應為10-15，一般取15，觀察數值，應為10的-8至-9次方時，可以開始氦氣檢漏（等待幾分鐘）；

4、按“檢漏”鍵，緩慢開啟頂部手動擋板閥，注意：檢漏口的壓強不得超過10MPa,否則機器易損壞；

5、數值穩定后，先記錄下來，這就是“本底”；

6、逐個將氦氣充入焊縫，并封堵插入口，將數值變動記錄下來。全部完成充氦氣后再觀察20分鐘，看數值有無大的變動。

7、關機時，應先關閉上部手動擋板閥，然后開啟放氣鍵，關電源。

氫氣系統

氫氣匯流排

發電機產生的熱量通過氫氣耗散，氫氣的散熱能力相當于空氣的8倍。為了獲得更加有效的冷卻效果，發電機中的氫氣是加壓的。

氫氣來自中央制氫站，通過軟管與匯流排連接。減壓閥將氫壓減至所需壓力，然后送到氫氣控制裝置再減壓至發電機所需的壓力。

二氧化碳匯流排

為了防止氫氣和空氣混合成性的氣體，在向發電機充入氫氣之前，必須要用二氧化碳將發電機內的空氣置換干凈。同理，在發電機停機排氫后，也要用二氧化碳將發電機內的氫氣置換干凈 。

氫氣管道

在氫氣管道方面，氫氣管采用無縫鋼管制成;管道和管件采用焊接連接，以減少可能的泄漏點。真空設備檢漏與維修為什么要檢漏泄漏和密封相對應很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。管道與設備的噴嘴、閥門等采用法蘭或螺紋連接，并在連接中使用金屬絲并定期檢查粘接電阻，設備或管道端部是否接地良好;所述管道上設有空管、取樣口和吹掃口，其位置滿足管道中氣體吹掃和更換的要求，系統上設有含氧量小于0.5%的氮氣置換吹掃設施;氫氣排氣管應導至室外，排氣口應高于屋頂高處1m以上。在排氣口設置阻火器，防止外部火花進入系統造成事故，并采取防護措施，防止雨雪侵入、碎片堵塞、雷擊。