真空泵維修根據(jù)多年的維修經(jīng)驗(yàn)來給你分析一下多級泵安裝的流程及需要小心的注意事項(xiàng)，希望對你的安裝能有所幫助。安裝多級泵的流程及其注意事項(xiàng)：

1、將多級泵運(yùn)到現(xiàn)場，找平頂座時(shí)不必卸下水泵和電機(jī)；

2、直接安裝可煤氣發(fā)生爐將頂座放在地基上，在地腳螺釘附近墊上楔形鐵，將頂座墊下約20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥漿之用；

3、用水真空泵平儀檢查多級泵頂座的水平度，找平先用水泥漿填充頂座，待水泥漿做先再檢查一下水平度；

應(yīng)用

半導(dǎo)體的目標(biāo)應(yīng)用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目標(biāo)應(yīng)用包括：

PECVD

TCO

刻蝕

傳輸腔

主要特性和優(yōu)勢

針對先進(jìn)的 EPI 和太陽能制程大幅提高了氫氣抽取速度。

大容量干泵和 增壓泵提供擴(kuò)展的制程窗口以提高產(chǎn)量。

占地面積更小，高度更低，便于在任何工廠中安裝。

符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始終如一地使用或省略不用。

我們這里提到的真空泵維修是指真空泵腐蝕的維修。真空泵維修的方法之一就是在真空泵表層涂上有機(jī)涂層，該方法非常有效。

有關(guān)真空泵的工作原理、真空泵價(jià)格和真空泵維修等知識就為大家介紹到這里了，如果您還想了解更多有關(guān)真空泵的知識的話，就請繼續(xù)關(guān)注我們。

iGX 干泵真空系統(tǒng)

iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護(hù)現(xiàn)代干泵樹立了新標(biāo)準(zhǔn)；這 使其成為了世界上受歡迎的干泵之一，目前已在大多數(shù) 的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網(wǎng)連接，允許通過網(wǎng)頁查看 主要數(shù)據(jù)，同時(shí)包括一套的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)， 可確保泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

iGX 泵的峰值速度范圍 很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔 到中等負(fù)載制程。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對 iGX 干泵 進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項(xiàng)，包括工具上、近程和遠(yuǎn)程操作。

通過使用 iGX 干泵技術(shù)， 整個(gè)工廠通常可以在設(shè)施成本方面實(shí)現(xiàn) 40%* 的節(jié)省 （與 iL/iH 干泵相比）。

基于包含 200 個(gè)工具、537 臺泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。

愛德華真空泵維修：真空容積，檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

泵系列

Edwards 獲得的螺旋轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì) 針對高可用性而設(shè)計(jì)，它提供的抽取速度，并且是先進(jìn)的熱 管理系統(tǒng)的一部分，可以程度地提高泵性能并延長密封、軸承和 電機(jī)的使用壽命，以確保泵具有長的使用壽命。

GXS160

GXS160/1750

GXS250

GXS250/2600

GXS450

GXS450/2600

GXS450/4200

GXS750

GXS750/2600

GXS750/4200

維修完成后，注油前應(yīng)用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網(wǎng)，以保持油箱的清潔。抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。

愛德華真空泵維修是門的技術(shù)，不是換換軸承、換換油封那么簡單，客戶不要把您真空泵給一家不的廠家維修，很有可能導(dǎo)致真空泵提前報(bào)廢，從而給您的生產(chǎn)帶來損失。