本著十多年的真空泵維修經驗，從中我們也發現了不少關于這方面的問題。有許多消費者可能是真空泵在使用時出現了一些小故障，為了節約成本就會拿去維修，也不管找到的維修商家是否有能力修好該真空泵，只一味的注重價格。其實到后修不好，反而花費的錢更多。

iH 高真空干泵

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵，使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨 設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和完全 封閉的水冷卻電機。

應用

負載鎖定

轉換

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

維修完成后，注油前應用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，以保持油箱的清潔。抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應打開氣鎮，讓泵運行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。

愛德華真空泵維修是門的技術，不是換換軸承、換換油封那么簡單，客戶不要把您真空泵給一家不的廠家維修，很有可能導致真空泵提前報廢，從而給您的生產帶來損失。

愛德華真空泵維修：真空容積

檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。真空泵工作2000小時后應進行檢修，愛德華真空泵維修的方法。檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。

愛德華真空泵是屬于油封旋片式機械真空泵, 日常維護檢查的內容為觀察泵油顏色, 查看油位, 檢查進、出氣口的過濾器。判定故障后, 維修方法是更換老化的密封部件, 添加和更換新油、清洗油路、更換老化的配油器、旋片和彈簧, 更換損壞的電源器件和電機線圈等。后給出真空泵的性能改造位置和方法。