渦旋真空泵的應用領域

渦旋泵已被廣泛應用于半導體行業：薄膜制造設備、半導體器件封裝設備。科學儀器行業：同步輻射光束線機、電子顯微鏡、極光試驗設備、分析測試儀器。機械設備行業：材料制備設備、真空檢測、材料提純設備、超高真空排氣設備。醫院設備行業：透析機、生物制備與藥品制備。包裝行業：食品、藥品、生物制品包裝設備等領域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統很好的配置。

一文了解渦旋真空泵動渦旋盤結構的特點

單面和雙面為動渦旋盤上兩面是否都有渦旋齒而言，動渦旋盤上只有一面有渦旋齒為單面渦旋泵，動渦旋盤上兩面都有渦旋齒為雙面渦旋泵。目前國內廠家的產品都為雙面設計，國外廠家的產品大多為單面設計

與單面相比，雙面渦旋泵有較高的抽速和自平衡軸向力的優點，但是由于很高的結構對稱性要求，雙面渦旋盤的加工制造比較困難

在雙面渦旋真空泵的結構中，動渦旋中心要安裝兩個軸承，軸承和真空室直接相連，即使使用動密封，也會造成返油現象，污染真空環境和影響極限真空度，要考慮軸承因真空引起的變形，使用真空軸承，軸承長期在真空條件下工作，會降低軸承的壽命

雙面渦旋真空泵中要求曲軸較長，增大了曲軸的加工制造難度和成本，如果曲軸稍有變形，就會在很大程度上影響側向間隙，從而影響極限真空度，甚至出現碰齒現象。在單面渦旋真空泵中，軸承可與真空室隔開，清潔度和極限真空度提高；結構簡單，動渦旋盤和靜渦旋盤之間容易拆裝，密封條的替換比較容易；曲軸較短，加工制造難度和成本降低。

渦旋真空泵的工作原理

渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉機構保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構成了無油渦旋真空泵的抽氣機構。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內具有穩定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續的，因而驅動扭矩變化小，功率變化小，振動噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。