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曝光時菲林膠片黑色部分的鋼片不被感光,對于空白的蝕刻鋼片感光,
曝光一般在曝光機內(nèi)進行,技術(shù)關(guān)鍵點:低溫平行光源,波長根據(jù)油墨特性進行設(shè)備,目前光源是一大難點問題。利用曝光顯影工藝正好可以解決遮蔽油墨不能通過傳統(tǒng)印刷解決的問題,具有精度高,量產(chǎn)性好,良率高等特點,采用曝光顯影技術(shù),遮蔽油墨可控良率可達90%以上。
曝光顯影是一種用于光刻制程的技術(shù),主要用于制造半導(dǎo)體芯片、液晶顯示器等微電子器件。它包含兩個階段:曝光:在將光線通過掩膜中的芯片圖案照射到光刻膠表面的過程中,使得光刻膠在芯片表面保留下芯片圖案的影像。曝光顯影工藝在微電子加工中具有重要作用,主要用于將芯片圖案轉(zhuǎn)移至硅片表面,從而實現(xiàn)微電子器件的制造。
在實際應(yīng)用中,曝光顯影工藝通常用于以下方面:制造微處理器:曝光顯影工藝是制造微處理器的主要工藝之一,通過在芯片表面制造出各種不同的電路和器件,實現(xiàn)芯片的功能。
曝光不足,導(dǎo)致單體聚合不,那么在顯影過程中,會使的膠膜變軟,線條不清晰,色澤暗淡,脫膠。