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傳感器的操作理念展現(xiàn)了設(shè)計(jì)和功能性是如何做到相互的。即使如此，高可用性的重要性也是高于用戶友的，因?yàn)閴毫鞲衅餍枰M(jìn)行連續(xù)多年測(cè)量和監(jiān)測(cè)工作，PS+系列采用特殊的密封設(shè)計(jì)。因此無(wú)比堅(jiān)固，完全I(xiàn)SO防護(hù)等級(jí)IP6K6K、IP6K7和IP6K9K的要求，PS+系列

壓力傳感器包括采用久經(jīng)考驗(yàn)的陶瓷測(cè)量元件(PS310)或全焊接金屬測(cè)量元件(PS510)兩種類型，這些全焊接測(cè)量元件耐過(guò)壓能力高達(dá)額定壓力的7倍。必要時(shí)，傳感器也可安裝峰值壓力孔，由于可以讀取測(cè)量值和小、大壓力。可以實(shí)現(xiàn)類似具有存儲(chǔ)功能的數(shù)字式指針壓力計(jì)的功能。

譜拓科技唯實(shí)致力于提供的真空控制、檢測(cè)儀器、光機(jī)電一體化設(shè)備，以的產(chǎn)品和服務(wù)為客戶創(chuàng)造價(jià)值。以技術(shù)創(chuàng)新為手段，以產(chǎn)品專門化、規(guī)模化生產(chǎn)為基礎(chǔ)，努力發(fā)展成為國(guó)內(nèi)儀器設(shè)備，特別是在真空領(lǐng)域具有競(jìng)爭(zhēng)力的生產(chǎn)、服務(wù)型企業(yè)。

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電路主要由開(kāi)關(guān)電容電荷放大器和一階Σ-Δ調(diào)制器組成，利用0.25umCMOS技術(shù)制作成集成芯片，芯片有效面積約為2平方毫米，供電電壓2.5V，功耗約為6mW。電路的靈敏度可以達(dá)到2.5V/pF，分辨率可達(dá)到4aF。為滿足不同應(yīng)用的需求，PérezSanjurjo等設(shè)計(jì)了一種適用于inficon電容式傳感器的電容-數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換電路。

可編程放大器提供了多個(gè)增益，使得電路可以根據(jù)信號(hào)的輸入強(qiáng)度及要求來(lái)選擇合適增益。可調(diào)方波時(shí)鐘發(fā)生器為傳感器提供激勵(lì)信號(hào)，同時(shí)為解調(diào)器提供時(shí)鐘信號(hào)，這種可調(diào)性可以抑制傳感器的結(jié)構(gòu)變化以及封裝給電路的影響。另外，該電路中采用了片上電容陣列，可以抵消差動(dòng)結(jié)構(gòu)電容的失配導(dǎo)致的不平衡。

差動(dòng)式可調(diào)諧微電容測(cè)量電路原理圖電路集成芯片采用0.13umCMOS技術(shù)制造，供電電壓為1.8V，能耗約為10mW。測(cè)試結(jié)果表明，電路能夠測(cè)量inficon電容式傳感器中的飛法級(jí)別的電容變化，靈敏度可達(dá)到0.3mV/fF，通過(guò)調(diào)節(jié)相關(guān)參數(shù)，靈敏度可達(dá)到1mV/fF。Awmini等設(shè)計(jì)了一種開(kāi)關(guān)電容電路來(lái)測(cè)量具有差動(dòng)敏感電容結(jié)構(gòu)的inficon設(shè)備的微小電容變化。

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國(guó)內(nèi)在90年代也有人研制了石英真空計(jì)，所用電路是以晶振本身為頻率控制元件的自振蕩，自跟蹤電路。測(cè)量范圍為0.1Pa~2×105Pa。 很近我們研制的DL-10A型石英真空計(jì)采用FC135晶振，測(cè)量范圍為5×10-1~105Pa。目前已有石英真空計(jì)產(chǎn)品，

例如：CC-10真空計(jì)測(cè)量范圍是1.33×10-2Pa到大氣壓，M-320XG晶振真空計(jì)測(cè)量范圍是1X10-1Pa到大氣壓，DL-10A型石英真空計(jì)測(cè)量范圍是5X10-1Pa到大氣壓。其優(yōu)點(diǎn)為：傳感器體積小，耗電功率小（約1W），精度較高（約10%），量程較寬（10-1~105Pa）等。

PART 01工作原理

石英晶振在諧振時(shí)，其諧振頻率或諧振阻抗均與周圍氣體壓強(qiáng)有關(guān)，二者均可用來(lái)測(cè)量壓強(qiáng)。用諧振頻率與壓強(qiáng)有關(guān)的特性做真空計(jì)精度高，但測(cè)量范圍較窄，它可以用作標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)或應(yīng)用于要求精度高的真空測(cè)量領(lǐng)域。用諧振阻抗與壓強(qiáng)有關(guān)的真空計(jì)測(cè)量范圍較寬，可達(dá)0.1-105Pa，適合做工作用真空計(jì)。晶振在諧振時(shí)，同時(shí)自身也存在機(jī)械振動(dòng)，振動(dòng)時(shí)將受氣體阻力，阻力的大小與氣體壓強(qiáng)有關(guān)，因而晶振的電學(xué)阻抗也與氣體壓強(qiáng)有關(guān)。

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inficon電容器塑料薄膜真空計(jì)規(guī)定準(zhǔn)確測(cè)量電源電路功能損耗低、易集成化，充分考慮分布電容和干擾信號(hào)及溫度的危害，準(zhǔn)確準(zhǔn)確測(cè)量inficon電容器塑料薄膜真空泵規(guī)管的細(xì)微電容器是一個(gè)難點(diǎn)。感壓塑料薄膜上的電級(jí)各自與固定不動(dòng)電級(jí)、參照電級(jí)組成比較敏感電容器和參照電容器，伺服驅(qū)動(dòng)器電級(jí)坐落于感壓塑料薄膜下邊，

根據(jù)增加靜電力使感壓塑料薄膜在準(zhǔn)確測(cè)量真空值的歷程中處在一個(gè)明確的部位，進(jìn)而完成寬標(biāo)準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)性壓力測(cè)量。當(dāng)被測(cè)壓力為p時(shí)，使得感壓塑料薄膜處在平衡狀態(tài)，則增加在感壓塑料薄膜上的企業(yè)范圍的靜電力Fe應(yīng)當(dāng)工作壓力p相同，靜電力均衡式inficon電容器塑料薄膜真空泵規(guī)管框架圖當(dāng)伺服驅(qū)動(dòng)器工作電壓為VS時(shí)，塑料薄膜上受到的靜電力Fe為：式中：ε0為真內(nèi)腔室的相對(duì)介電常數(shù)；d是伺服驅(qū)動(dòng)器電級(jí)與塑料薄膜間的間距。

由式（2）、式（3）得伺服驅(qū)動(dòng)器工作電壓與工作壓力p的影響為：靜電力均衡式inficon電容器塑料薄膜真空計(jì)的信號(hào)分析電源電路由微電容器準(zhǔn)確測(cè)量電源電路和靜電力控制電路構(gòu)成。在其中，微電容器準(zhǔn)確測(cè)量電源電路用于對(duì)比較敏感電容器的變化量準(zhǔn)確測(cè)量獲得工作壓力數(shù)據(jù)信號(hào)，而靜電力控制電路用于造成伺服驅(qū)動(dòng)器工作電壓。

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