真空檢漏向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。極限壓力不合格，升壓率合格這種情況原因通常出現在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。

實驗程序中明確規定了密封繼電器的檢漏條件及步驟，本次主要討論背壓法檢漏屬于檢漏步驟中的細檢漏。繼電器的背壓檢漏法一般分為三步: 1加氦壓:將被檢繼電器放入充氦的壓力罐中; 2凈化:從壓力罐中取出繼電器，用氮氣流或者空氣流吹凈繼電器表面吸附的氦氣。3檢漏:將繼電器放入檢漏儀的檢漏盒中進行檢測，若繼電器有漏，壓入內腔的氦氣會經過漏孔進入檢漏儀，儀器上會有漏率顯示。

氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。檢漏儀自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

氦質譜檢漏主要領域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；氦質譜檢漏設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。氦質譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負壓法。負壓法就是常說的抽真空，這是氦質譜檢漏儀常用的檢漏方法。