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中間鏡(intemediate lens)和投影鏡(projection lens)
在物鏡下方,依次設(shè)有中間鏡和投影鏡、第2投影鏡,以共同完成對(duì)物鏡成像的進(jìn)一步放大任務(wù)。從結(jié)構(gòu)上看,它們都是相類(lèi)似的電磁透鏡,但由于各自的位置和作用不盡相同,故其工作參數(shù)、勵(lì)磁電流和焦距的長(zhǎng)短也不相同。電鏡總放大率:M=MO·MI·MP1·MP2即為物鏡、中間鏡和投影鏡的各自放大率之積。當(dāng)電鏡放大率在使用中需要變換時(shí),就必須使它們的焦距長(zhǎng)短相應(yīng)做出變化,通常是改變靠中間鏡和投影鏡線圈的勵(lì)磁工作電流來(lái)達(dá)到的。電鏡操縱面板上放大率變換鈕即為控制中間鏡和投影鏡的電流之用。
對(duì)中間鏡和投影鏡這類(lèi)放大成像透鏡的主要要求是:在盡可能縮短鏡筒高度的條件下,得到滿(mǎn)足高分辨率所需的高放大率,以及為尋找合適視野所需的低放大率;可以進(jìn)行電子衍射像分析,做選區(qū)衍射和小角度衍射等特殊觀察;同樣也希望它們的像差、畸變和軸上像散都盡可能地小。
掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀,但由于其本身具有許多的優(yōu)點(diǎn),發(fā)展速度是很快的。
1 儀器分辨率較高,通過(guò)二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié),采用LaB6電子,可以進(jìn)一步提高到3nm。
2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大,且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場(chǎng)進(jìn)行觀察,同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。