航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測(cè)已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對(duì)密封繼電器作漏率測(cè)定。針對(duì)不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測(cè)主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用制冷行業(yè)：冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機(jī)、低溫儲(chǔ)槽。氦氣檢漏儀可對(duì)使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國外技術(shù)，具有靈敏度高，反應(yīng)快，開機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀。檢漏儀高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。筆者根據(jù)實(shí)測(cè)經(jīng)驗(yàn)，兩次噴氦的較小間隔時(shí)間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。

氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護(hù)，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。對(duì)檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時(shí)間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；