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EMMI微光顯微鏡
微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是常用漏電流路徑分析手段。對于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination會放出光子(Photon)。如在P-N結加偏壓,此時N阱的電子很容易擴散到P阱,而P的空穴也容易擴散至N,然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination。在故障點定位、尋找近紅外波段發光點等方面,微光顯微鏡可分析P-N接面漏電;P-N接面崩潰;飽和區晶體管的熱電子;氧化層漏電生的光子激發;Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問題.