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原子層沉積是在一個加熱反應(yīng)器中的襯底上連續(xù)引入至少兩種氣相前驅(qū)體物種,化學(xué)吸附的過程直至表面飽和時就自動終止,適當(dāng)?shù)倪^程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉積的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金屬,碳化物,復(fù)合結(jié)構(gòu),硫化物,納米薄層等。 中空納米管,隧道勢壘層,光電電池性能的提高,納米孔道尺寸的控制,高高寬比納米圖形,微機電系統(tǒng)(MEMS)的反靜態(tài)阻力涂層和疏水涂層的種子層,納米晶體,ZnSe涂層,納米結(jié)構(gòu),中空納米碗,存儲硅點涂層,納米顆粒的涂層,納米孔內(nèi)部的涂層,納米線的涂層。
1、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于磁性材料領(lǐng)域,派瑞林的制備工藝和優(yōu)異性能相結(jié)合,使它能對小型超小型磁材進(jìn)行無薄弱點全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕,目前國際上小型或者超小型磁材,幾乎都采用派瑞林鍍膜工藝作絕緣和防護(hù)涂層。
2、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于印制電路組件和元器件領(lǐng)域,鍍膜材料通過派瑞林真空鍍膜設(shè)備使得活性的對二雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合完成。氣態(tài)的小分子能滲透到包括貼裝件下面任何一個細(xì)小縫隙的基材上沉積,形成分子量約50萬的高純聚合物。
3、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于微電子集成電路領(lǐng)域,派瑞林的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似,而且所制備的派瑞林涂層介電常數(shù)也低,還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖,進(jìn)行再金屬化,因此派瑞林(Parylene)不僅可用作防護(hù)材料,而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用,經(jīng)派瑞林(Parylene)涂敷過的集成電路芯片,其25um細(xì)直徑連接線,連接強度可提高5-10倍。
超聲波霧化噴涂設(shè)備在傳感器的制造中的可應(yīng)用于噴灑薄膜聚合物、顏料或其他功能性涂層,例如生物測定安全傳感器和應(yīng)用的傳感器,以及用于其它應(yīng)用的多種傳感器,例如,溫度感測,氣體傳感,化學(xué)檢測,阻抗測量,以及壓力或負(fù)載傳感等等。
在電子器件的制造中,傳感器噴涂薄膜聚合物和其它化學(xué)物質(zhì)是不可缺少的關(guān)鍵步驟之一,例如現(xiàn)下備受大家歡迎的蘋果手機,其指紋識別是利用指紋傳感器元件來實現(xiàn)的,若指紋傳感器元件沒有經(jīng)過噴涂這一功能性涂層,就會導(dǎo)致指紋識別系統(tǒng)工作狀態(tài)不佳不能靈敏識別。在不斷擴(kuò)大的電子市場,人們對于傳感器的制造提出了更高要求,馳飛超聲波對傳感器涂層的噴涂工藝進(jìn)行了優(yōu)化,使得涂層工藝成本下降,涂層超薄且均勻致密。