氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；氦質譜檢漏方法 以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種。對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數值超過規定值即為有漏。

采用試驗件對機翼整體油箱漏率進行摸索，整體油箱試驗件檢漏總體上分為兩個部分: -是粗漏漏點檢測與工藝修補;二是氦質譜細漏檢測,粗漏檢測過程涉及的主要設備有壓縮空氣氣源、自動配氣平臺、控制閥等。試驗時，首先接通壓縮空氣氣源，啟動整體油箱快速檢漏設備，設定充氣氣壓。充氣過程結束后，穩壓15min, 觀測檢漏設備上的壓降曲線，確定是否存在粗漏。若壓降明顯，說明有粗漏漏點存在。經肥皂泡方法確定粗漏漏點位置后，利用涂密封膠的方法對粗漏漏點進行工藝修補，重復檢測修補后，至油箱試驗件在規定時間內的壓降符合技術要求后，可以進行氦質譜細漏檢測。

油箱試驗件的細漏漏點采用正壓法檢測。試驗時，向油箱 試驗件內部充入氦氣和壓縮空氣的混合氣體，使油箱內部壓力大于外界大氣壓，如果有漏點存在，氦氣就通過漏點泄漏出來，用吸槍進行探測，就能確定是否存在泄漏。檢測過程要保證在吸槍上加罩盒。一是為了防止環境中氦濃度過高，影響檢測;二是為了防止一大片的漏點同時泄漏，不能檢測到漏點的確切位置及單個漏點的漏率。檢測時，吸槍要沿著漏點緩慢移動，以便能夠檢測出漏源的準確反應值。