氦質譜檢漏儀：

1、氦氣的質量輕，易于穿過漏孔，進入系統時流動和擴散快，因此響應快，檢漏靈敏度高。

2、氦離子質荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。檢漏時將檢漏器的靈敏度調到da，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發出的聲音達到da。

3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。

氫氣檢漏設備

針對產品進行IP防水檢測，可以通過兩種儀器來實現，一種是防水測試設備，一種是氣密檢漏設備，防水測試設備是使用水來對產品進行不同防水等級的測試，來達到檢測標準要求，而氣密檢漏設備是通過氣壓來模擬水壓，實現對產品的密封性能的測試，不會損壞內部產品。基于其在處理環境中背景氫氣濃度方面所擁有的獨特技術，氫氣檢漏儀具有非常可靠的敏感度和測量指示。

氣密檢漏設備檢測產品有兩種比較直觀的產品，一種是使用測試氣管直接連接產品的充氣孔(產品自帶充氣孔)，再進密性測試，即采用直接檢測方法，另一種是將產品放置在仿形模具內(根據產品外形定制)，對仿形模具內腔進行充氣，然后進密檢漏設備。

氫氣系統

氫氣匯流排

發電機產生的熱量通過氫氣耗散，氫氣的散熱能力相當于空氣的8倍。為了獲得更加有效的冷卻效果，發電機中的氫氣是加壓的。

氫氣來自中央制氫站，通過軟管與匯流排連接。減壓閥將氫壓減至所需壓力，然后送到氫氣控制裝置再減壓至發電機所需的壓力。

二氧化碳匯流排

為了防止氫氣和空氣混合成性的氣體，在向發電機充入氫氣之前，必須要用二氧化碳將發電機內的空氣置換干凈。同理，在發電機停機排氫后，也要用二氧化碳將發電機內的氫氣置換干凈 。

氫氣檢漏

油霧法

油霧法的測試塵源為油霧，“量”為含油霧空氣的濁度，以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。

德國規定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3~0.5微米。油霧法在檢測過濾器時，容易對過濾器造成損傷，且不能直接讀值，浪費時間。

DOP法

這種方法曾經是國際上測試過濾器海綿常用的方法。

它的測試塵源為0.3微米單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴，也稱為“熱DOP”，“量”為含DOP空氣的渾濁程度。

將DOP液體加熱成蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3微米左右的顆粒，進入風道，通過測量過濾器前后氣樣的濁度，并由此判斷過濾器對0.3微米粉塵的過濾效率。