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熱傳導真空計的原理？通過什么量的測量來反映熱傳導的變化？

答：熱傳導真空計是依據低壓氣體的熱傳導與壓力有關這一現象來進行測量的。它可以通過熱絲電阻的變化來反映溫度的變化，從而反映熱傳導的變化，用此種測量方法的真空計稱為熱阻真空計，又稱為皮拉尼真空計。也可以直接用熱電偶測量熱絲的溫度變化來反映熱傳導的變化，稱為熱偶真空計。

影響熱傳導真空計測量下限的原因是什么？

答：熱絲的熱量除了氣體傳熱外，還可以沿著熱絲本身向兩端傳熱，即固體傳熱；還可以以輻射的方式傳熱，這兩種傳熱方式與壓力無關，當壓力較低，氣體的傳熱量明顯低于固體的傳熱和輻射傳熱時，就不能反映壓力的變化了，即達到了測量的下限。

熱傳導真空計為什么易老化？

答：因熱絲長期工作在高溫下，受氣體作用易氧化變細，或導致熱絲本身結晶構造變化，因此會改變熱絲的電阻，造成零點的漂移，這是屬于熱絲本體的。熱絲表面因會吸附氣體而改變了表面的適應系數，即熱交換的機制，造成靈敏度的變化。以上均屬于老化現象。

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PID控制算法簡單、魯棒性好、可靠性高，在靜電力反饋微傳感器中應用廣泛。PID控制器中的比例作用可以及時反映系統的誤差信號，并減小系統偏差；積分作用可以消除穩態誤差，實現對設定值的無靜態跟蹤；微分作用可以改善系統的響應速度和穩定性。通過正確地設置PID控制器的參數，就可以使其滿足靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計的測量要求。

根據對inficon電容薄膜真空計的微電容測量方法的分析，可以看出，針對不同結構的敏感電容，存在不同的測量方法。單側電極微電容測量法電路結構簡單，易于實現，適用于敏感電容初值較大且電容變化量也較大的場合。在測量的過程中，可以引入一個電容值與敏感電容初值相等的參考電容來構成差分測量電路，從而在一定程度上消除寄生電容的影響，提高系統的線性度。

雙側電極微電容測量法適用于敏感電容為差動結構且初值及變化量都很小的場合，其電路通常包含開關電容電路以及時鐘電路，這就使得電路結構比較復雜，但在雙側電極微電容測量法中，傳感器與檢測電路構成了雙差動結構，從而能抑制測量過程中的噪聲、減小寄生電容的影響，具有較高的電源抑制比及共模抑制比。

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為了更好地使裝置作用強，可以校準不一樣品種的真空計，要確保裝置測量范圍充足寬、高精度。研發人員選用多種多樣計量檢定方式，將靜態數據比較分析法、動態性比較分析法、動態性總流量法等集成化在一起。因為各種各樣方式 的基本原理、構造均不同樣，乃至很有可能互相干預，研發人員持續重復地完成梯度下降法實驗，創新能力地將他們設計方案組成在一起，完成寬測量范圍、高精密的校準。

與此同時還具有擴展作用插口，有利于擴展標準孔板校準、測漏等作用，解決了一直以來真空校準裝置沉重沒法帶上到當場只有在試驗室校準的瓶頸問題，完成了當場真空計的準確校準。應用攜帶式真空計校準裝置“小直尺”都發生在哪兒？攜帶式真空計校準裝置自研發代迄今，近年來，商品獲得30好幾家企業的運用。“小直尺”充分發揮著“大功效”，在嫦娥系列月球探測儀、火星探測器、空間站、北斗導航等重要航空航天型號規格工作的研發實驗及發送中獲得了巨大運用；

在處理芯片、行波管、大氣電氣設備、真空泵元器件、高精密時鐘、充電電池等生產全過程/生產機器設備的定時校正中也激發著關鍵功效；與此同時，在飛機發動機、、巡航等的實驗與生產，特種鋼材冶煉廠、高純氣體制備、裝備生產當場都曾發生攜帶式真空計校正設備的小影子。高新科技要發展趨勢，計量檢定須優先。

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熱偶真空計工作中特點熱偶真空計是相對性真空計，其工作壓力-熱偶電勢差相匹配值無法用計算方式準確求取，因而，經常在規范自然環境情況下，用肯定真空計或用校正系統軟件經校正明確。在一定的加溫電流量情況下，適用DL-3型規管的熱偶真空計對干躁氣體的校準曲線如下圖4-9和圖4-10所顯示。

DL-3型熱偶真空計的校準曲線(10～10-1Pa)圖4-10DL-3型熱偶真空計的校準曲線(102～10Pa)由圖4-10可以看出，當工作壓力從0.1MPa逐漸逐步減少(圖上未畫出)的一段工作壓力區域內，熱偶電勢差E一直在零值周邊，其根本原因是氣體分子結構多，傳輸走的卡路里多，因此熱絲溫度低，熱偶電勢差E亦低，并且這時(λ≤r1)導熱與工作壓力不相干，故熱偶電勢差E不轉變(小量轉變是氣體熱對流造成的)。

當氣體壓力至102Pa時，熱偶電勢差E逐漸擴大，這也是因為這時氣體傳輸走的發熱量降低，熱絲溫度已上升。當工作壓力p再次下降時，熱偶電勢差再次擴大，可是愈來愈遲緩，很后趨向一定值。自此，p再減少，E不會再轉變，即熱偶真空計已做到其準確測量限，這一限為其準確測量低值，約為10-1Pa。為了更好地應用上的便捷，通常依照p—E校準曲線將微伏計的標尺改為真空值。用那樣標尺的真空計準確測量時，可立即讀取真空值，從此不用依據測定的p-E校準曲線查被測真空值。

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