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羅茨真空泵廠家分享① 牽引分子泵:氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得力量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。②渦輪分子泵:泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。③ 復合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯起來的一種復合式分子真空泵。
擴散泵:以低壓高速蒸汽流(油或等蒸汽)作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為:① 自凈化擴散泵:泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵② 分餾式擴散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。
干泵;國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到佳配置,選擇真空系統時,應考慮下述各點:首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍,必須認真研究確定之。