每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶走。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

無塵室的優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

無塵室的缺點：亂流造成的微塵粒子于室內 空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產品。另外若系統停止運轉再重啟，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class 1~100級。潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

發菌量工作人員產生的污染

1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）

2）頭發：人類的頭發（直徑約為50~100微米）一直在脫落。

3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。

4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品。

5）人類靜止和坐立每分鐘將產生10000個大于0.3微米的微粒。

6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0.3微米的微粒。

7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產生5000000個大于0.3微米的微粒。