真空箱式氦檢漏設備

適用對各類被檢要求氣密性漏率的產品（以下簡稱工件）進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內外壓差不大0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。泄漏處的幾何結構、壓力、材料、濕度、溫度以及流量都是影響泄漏表現的因素。然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用，向工件內充入規定壓力的SF6工作氣體。系統嚴格按照客戶的要求設計制造，采用模塊化的設計，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標準化的模塊和部件，保證了系統的可靠性和可維護性。設備適應用電力行業,家用空調，制冷行業，汽車行業，新能源行業的氣密性檢測、應具有氣體充注。大漏判定功能，微漏定量檢漏功能，工件泄漏總的判定功能，并能滿足連續生產的需求，具有較高的自動化程度，操作簡便、可靠、安全。

真空箱式氦檢漏系統

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機械系統主要由以下四個單元構成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質制造，其內表面在加工后經拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計和管道等組成。能在設定的時間內對工件進行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統機械系統部分的氦檢漏單元，氦質譜檢漏儀采用進口產品，自動校準漏孔。技術成熟，性能穩定，安裝維護方便，使其和真空箱連接更加協調緊密。

氦質譜檢漏儀

檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級，儀器響應快，氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高;所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。3檢漏單元真空箱式氦檢漏系統機械系統部分的氦檢漏單元，氦質譜檢漏儀采用進口產品，自動校準漏孔。在一般工業領域里原子能、發電廠、配電站、合成氨的氮肥生產廠、汽車制造業、造船工業、制冷工業、冶金工業、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在裝備中也離不開檢漏，彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏儀，本文主要真對氦質譜檢漏儀原理及方法進行綜述。