徑向誤差補償方法。在PMD1000設備中，顯影液是通過安裝在腔體上方的噴嘴以扇形噴灑到掩模版上。顯影中心是銀原子，它不可能吸附BI-，只有Ag+的地方才會吸附它。當掩模版處于低位置時，噴嘴角度被調整到對準掩模版中心。在掩模版旋轉過程中，掩模版中心一直處于新鮮顯影液覆蓋范圍，因此掩模版中心位置的顯影程度會高于周邊位置，從而造成中心CD比周邊大。如果徑向誤差分析顯示這種情況，需要通過調整掩模版顯影高度來對周邊進行補償。

菲尼酮具有優良的顯影性能，顯影速度較米吐爾快，用量甚少，只相當于米吐爾用量的五分之一到十分之一，每升0.1~0.5克即可，而且它的顯影氧化產物是無色的。3D玻璃產業鏈都將應對這些挑戰，目前以藍思、伯恩、比亞迪等為首的加工商在探索驗證小批量產。菲尼副單獨顯影時，顯影能力較弱，一旦與對二酚組合使用時，就表現出極大的超加和性。這二者組合使用的顯影液通常稱為P-Q顯影液。

這類顯影液優點是顯影速度快，可鏈帶式獲得較高的感光度，尤其是影像的暗調層次特別豐富，組成銀影的顆粒較細，適宜高倍放大。由于我們的顯影設備是旋轉式噴淋，所以我們需分離出徑向誤差加以分析，通過一定補償方法提高CD均勻性指標。它在pH值較低的情況下，其顯影活性相對比M-Q顯影液強，并且受離子的影響小，藥液不易變色，使用壽命長。菲尼酮的缺點是容易生成灰霧，為了避免這一現象的發生，可適當增加化鉀的用量。

促進劑

顯影液中如果只有顯影劑，是可以完成顯影化學反應的，但化學反應速度很慢，并且顯影效果不一定理想。一般的顯影劑必須在堿性溶液中才有足夠的顯影能力，而且還能提高顯影速變。顯影的方法使潛影擴大為可見影像的方法有兩種：一種是通常所用的化學顯影。由于堿能促進顯影作用，所以堿就稱為促進劑。常用的促進劑有碳酸鈉Na,CO，、碳酸鉀K2CO，、硼砂Na,B40, 10H,0偏硼酸鈉NaBO，NaOH、化鉀KOH以及磷酸鈉Na,PO，等等。化鉀均屬強促進劑。適用于高反差快速顯影液。

在曝光顯影工藝中，只有對以上各種公差配合完全掌握，才能簡單可靠的做出合格產品。

曝光顯影技術優勢

1、解決3D曲面玻璃(包含四面曲)印刷難題；

2、圖形轉印技術單層、多層套印精度高；

3、霧化噴涂確保厚度均一性，提高致密性，降低油墨厚度；

4、采用圖形轉印技術，良率較高；

5、4-6寸蓋板單制程產能優勢明顯；

6、較薄的油墨利于貼合，提高制程整體良率