7分鐘前 EMMI微光顯微鏡值得信賴 蘇州特斯特公司[蘇州特斯特31ff5f9]內容：掃描顯微鏡是一種利用傳播媒介的無損檢測設備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內部的分層、空洞、裂縫等缺陷。通過發射短波傳遞到樣品內部，在經過兩種不同材質之間界面時，由于不同材質的阻抗不同，吸收和反射程度的不同，進而的反射能量信息或者相位信息的變化來檢查樣品內部出現的分層、裂縫或者空洞等缺陷。先進的顯微成像的技術是諸多行業領域在各類樣品中檢查和尋找瑕疵的重要手段。在檢查材料又要保持完整的樣品時，這項非破壞性檢測技術的優勢尤為突出。

微光顯微鏡光發射顯微鏡是器件分析過程中針對漏電失效模式，的分析工具。器件在設計、生產制造過程中有絕緣缺陷，或者期間經過外界靜穿，均會造成器件漏電失效。漏電失效模式的器件在通電得狀態下，內部形成流動電流，漏電位置的電子會發生遷移，形成電能向光能的轉化，即電能以光能的方式釋放，從而形成200nm~1700nm紅外線。光發射顯微鏡主要利用紅外線偵測器，通過紅外顯微鏡探測到這些釋放出來的紅外線，從而的定位到器件的漏電點。

EMMI微光顯微鏡

微光顯微鏡（Emission Microscope, EMMI）是常用漏電流路徑分析手段。對于故障分析而言，微光顯微鏡（Emission Microscope, EMMI）是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內部所放出光子。在IC元件中，EHP（Electron Hole Pairs）Recombination會放出光子（Photon）。如在P-N結加偏壓，此時N阱的電子很容易擴散到P阱，而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴（或N端的電子）做EHP Recombination。在故障點定位、尋找近紅外波段發光點等方面，微光顯微鏡可分析P-N接面漏電；P-N接面崩潰；飽和區晶體管的熱電子；氧化層漏電生的光子激發；Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問題.