真空箱式氦檢漏系統

科創真空生產、銷售氦檢漏設備，我們為您分析該產品的以下信息。

真空箱式氦檢漏系統

概述

本設備適用對充氣環網柜（以下簡稱工件）進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內外壓差不大于0.04Mpa，對被檢工件充注氦氣，應用真空箱法進行氦質譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用，后向工件內充入規定壓力的SF6和氮氣工作氣體。中科科美生產的氦檢系統，針對冷凝器檢漏節拍在40秒/件，針對蒸發器檢漏可達20秒每件。

回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。

性能特點

1、安全

★ 電氣系統具有自我檢測、連鎖保護和報警功能，確保系統本身運行可靠安全和被檢工件的安全。

★ 真空箱門設安全光電保護裝置，確保操作者安全

★ 氦氣示蹤安全環保。

★ 儲氣罐和壓縮機出口配置安全閥保證系統安全。

2、高靈敏度

★ 檢漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影響。

用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量(在空氣中約含5.2ppm)， 在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也

就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小(相對分子質量為4)，易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同-漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

1、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氮信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

2.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好，然而由于氫一方面有 危險，另- -方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產:大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低，所以很少采用。