氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。
使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會(huì)阻塞傳感器和分流器, 導(dǎo)致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內(nèi)部會(huì)導(dǎo)致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置，假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應(yīng)用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹, 導(dǎo)致MFC通道毀壞, 因而在應(yīng)用腐蝕性氣體前, 要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)開(kāi)展烘干解決;，并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性，還要使用惰性氣體對(duì)管路進(jìn)行吹掃，然后再通腐蝕性氣體，等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路，保證管路中不會(huì)殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應(yīng)用強(qiáng)腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標(biāo)準(zhǔn)實(shí)際操作, 這樣有可能導(dǎo)致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預(yù)熱，保證MFC在不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量處于0的位置，如果不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量顯示有一定的數(shù)值，表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象，可以先對(duì)MFC進(jìn)行調(diào)零處理，否則將影響MFC的精度。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎？
不可以的，一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調(diào)節(jié)閥，雖然可以起到一定的流量調(diào)節(jié)作用，但無(wú)法做到準(zhǔn)確，穩(wěn)定的流量控制，而氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是在電磁調(diào)節(jié)閥的基礎(chǔ)上增加了控制電路和流量檢測(cè)傳感器和比例分流，是可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量控制，并且可以將流量信號(hào)穩(wěn)定持續(xù)輸出成電壓信號(hào)或電流信號(hào)，比例閥根本滿足不了MFC能起到的作用。
氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)
利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí)，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD，一只用來(lái)做熱源，一只用來(lái)測(cè)量流體溫度，當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過(guò)微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。
采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù)，能實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量和控制，其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制