真空泵維修：確定極限真空度，在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的jia工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。

應用

目標應用包括：

PVD

電介質刻蝕

導體刻蝕

金屬刻蝕

植入源

客戶也將 iGX 用于一系列 清潔和輕負載應用。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

油位開關

用于遠程監控 油位，以防對泵造成潛在損壞。單獨提供或 與 PT100 或 120?C 傳感器配合提供。

溫度 傳感器

用于監控油溫的 PT100 和 120?C 溫度傳感器。

入口 過濾器/入口承接罐

入口過濾器可阻止碎屑進入泵機構，因而可用于大限度地 延長正常運行時間。入口承接罐可保護泵不受大量可冷凝蒸汽 的損害。

真空泵的常見故障是漏油、不能達到極限真空度和不能啟動。判定故障后, 維修方法是更換老化的密封部件, 添加和更換新油、清洗油路、更換老化的配油器、旋片和彈簧, 更換損壞的電源器件和電機線圈等。后給出真空泵的性能改造位置和方法。

一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。