濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說,在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進(jìn)行無塵操作。1級:主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn),對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。
凈化工程技術(shù)的興起不過是上個世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著、精、尖方向發(fā)展,對凈化車間的依賴度也越來越高。凈化工程在設(shè)計(jì)時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì),工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。
1級:塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時,就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時,可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級潔凈度的要求。1級:主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn),對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。凈化工程的等級劃分比較的嚴(yán)格,一般按照7個等級進(jìn)行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化安全要求是根據(jù)等級來實(shí)施的,凈化工程等級數(shù)越小,級別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。