廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內廠家生產的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強，被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮，由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。

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擴散泵在長期工作后性能會逐漸變壞，應定期檢查。如：泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理；零件及泵腔先用航空清洗，然后用進行擦洗，并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風吹干。處理完后，按順序進行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調整好。

待水分揮發干以后裝好泵芯，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。

在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是：啟動維護泵，關好大門，數分鐘后，觀察真空度，同時檢查連接處是否漏裝密封膠圈，或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒壞，無法進入工作狀態。

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（1）目前國內生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統一，大泵越作越大，小泵則很少生產。況且對泵的性能也沒有考核指標。行業應對提和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作，使用戶配套方便。（2）泵在結構方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和復位）。出口壓力的監控。（4）規定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。（5）給出合適的前級泵的容量。（6）為了節能加熱功率要可調，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設備的運轉率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機控制運行和故障診斷。（9）密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進一步降低返油率，擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數部件需要維修，泵內無運動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態下可獲得10-10Torr或更低的壓力。

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擴散泵維修保養對系統進行烘烤去氣處理。對玻璃系統而言，硬玻璃烘烤溫度為400℃～450℃ ，軟玻璃為350℃～400℃ 。去氣時間視具體要求而定，一般1～2小時。去氣完后，真空度仍達不到要求，應使用電離計記P-t曲線，以判斷是否漏氣。亦可用、酒精等涂抹處，看表針的擺動以發現漏孔。若為去氣不良，應進一步烘烤，加長時間去氣。新系統一般要抽較長時間才能達到預期的真空度。真空度老上不去，則要考慮系統設計、安裝是否合理，有無死空間，放氣源多否，維修時是否帶進了臟物，被抽容器是否清潔等其他因素。