廣州潽拓光電科技有限公司——廣州Agilent分子泵
安捷倫真空推出了一款全新渦輪分子泵 TwisTorr 305,它繼承了安捷倫TwisTorr 系列分子泵超高真空、高壓縮比、全無油潤滑等優(yōu)點,同時(參見文章:安捷倫TwisTorr超高真空渦輪分子泵特點介紹),還擁有諸多全新的特點(參見文章:新產(chǎn)品 | 安捷倫新型分子泵“新”在哪?),此外,TwisTorr 305 還是安捷倫采用全新設計和制造方法所推出的款真空產(chǎn)品。而廣州潽拓光電根據(jù)305產(chǎn)品特性研究,可以針對性的提供服務。
廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵清潔保養(yǎng)
高真空渦輪分子泵是什么?
渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵,典型的工作壓力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在極限狀態(tài)下,可以通過它實現(xiàn) 0.00000001Pa(大氣壓的十萬億分之一)的超高真空。渦輪分子泵可以用于各類質(zhì)譜儀(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…)、鍍膜機、電子顯微鏡(SEM、TEM)、聚焦離子束系統(tǒng)(FIB)、表面分析儀器,高能物理實驗裝置、粒子、高真空實驗裝置等諸多應用。
廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵清潔保養(yǎng)空擋滑行不可取
分子泵工作時轉速很高(數(shù)萬轉/分鐘),加減速過程中,不可避免的要經(jīng)過某些危險的共振頻率,長時間在這些共振頻率運轉,會增加軸承負荷、進而增加分子泵故障的風險。在真空下自然停泵(空擋滑行)時,由于真空下空氣阻力很小,分子泵轉子要經(jīng)過幾十分鐘甚至數(shù)小時的時間才能完全停止,其中在共振頻率運轉的時間也會比較長。一般建議分子泵停機時,手動或者通過充氣閥(Vent Valve),通過充氣口充入空氣/氮氣,增加轉子阻力使其快速停機;手動充氣時,要注意控制充氣速度,使停機時間和分子泵啟動時間相當(根據(jù)泵的大小不同而不同,一般為 3-10 分鐘)。
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渦輪泵以滿轉速持續(xù)運行。初始的磁場設置為 1mT ,泵在該磁場下運行 12 個小時以穩(wěn)定轉子溫度;然后關閉磁場,再運行 12 個小時以使轉子降溫;然后再分別把磁場設置為 2mT,按照前面的步驟繼續(xù)進行測試,直至磁場增加到 7mT 。修復應用中使用技術,MACHINA 可以協(xié)助 OPD 實驗室內(nèi)部藝術品的修復,由于一些尺寸較大或者極其精致的作品可能無法移動,它也可以被輕松移動到現(xiàn)場或者其他的實驗室和博物館。
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有下面這些異常一定要盡早檢修分子泵是高速旋轉的機械,軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢;而當軸承工作狀態(tài)不良時,會有一系列的現(xiàn)象,如分子泵無法啟動,運行噪音增大,溫度或功率異常增加等,在排除外界環(huán)境和進排氣壓力過高等外界因素后,應盡快停泵,送到維修中心進行檢修。
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渦輪分子泵也是一種機械式真空泵,通過高速旋轉的多級渦輪轉子葉片和靜止葉片的組合進行抽氣的,在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比,從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴散泵高,可達10^-8pa。正常工作時需要一定的前級真空度,其真空度高低視泵不同略有差異,一般在1-200Pa之間,可采用機械泵作為前級泵,高真空機組是由分子泵和機械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉速高,通常用中頻電機帶動,中頻電源的頻率在300-400Hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。
CombiNEG系列采用安捷倫科技(Agilent Technologies),StarCell離子泵抽氣單元和賽斯(Saes Groups)的燒結型非蒸散型吸氣劑(NEG)。安捷倫真空(原瓦里安真空)是離子泵,賽斯是NEG吸氣劑泵的始創(chuàng)者。兩家公司累計超過100年的真空經(jīng)驗、各自的技術和緊密的合作是這一革命性的產(chǎn)品問世的基礎。
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分子泵:安捷倫TwisTorr渦輪分子泵采用獨有的AFS懸浮軸承技術,工作時振動非常低,被廣泛地應用在世界各地的眾多電子顯微鏡上。一個位于日本的業(yè)界,從2015年起,在其生產(chǎn)的電子顯微鏡上使用了1000多臺安捷倫分子泵,泵的可靠性非常接近,實測的振動水平低于0.01米/秒2,噪聲等級更是只有40dB(A)。
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當磁場逐步增加后,被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升,當磁場強度為 7mT 時,平衡溫度上升到 100 攝氏度左右(安捷倫分子泵的允許溫度為 120 度)。另外,KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵,一系列的對比測試表明,安捷倫分子泵在相同的磁場條件下轉子的平衡溫度明顯較低( 5mT 時,低大約40度)。