無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A型級別。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A型級別,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
GMP潔凈車間,凈化工程規劃應確保安全出產和滿足環境保護的要求。云潔凈化工程的稍置和各項設備的規劃均有必要契合消防、防火的要求,應按國家的有關標準、標準進行規劃,由于潔凈室凈化工程內的平面和空間扣置持殊、走道彎曲等特點,在進行各項技能設備的系統規劃、設備裝備和材質選樣時,加特別留意按規定選用契合要求的系統、沒備和材質。
關于潔凈室等動力采樣的問題:所謂等動力采樣就是在檢測時,粒子的計數器的采樣管的入口方向與被采樣的單向氣流方向相一致,并且空氣進入取樣管入口的平均速度與該位置單向氣流的平均速度相同。由于對凈化工程的檢測咱們主要關心兩種粒徑,即0.5um和5um。非等動力采樣關于≤0.5um的粒子影響不大。假如取樣空氣用于計算大于或等于0.5um的粒徑濃度,假如這些粒子不受非等動力條件的影響,則計算結果也不受影響。
我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初,在70年代電子工業潔凈室特別是半導體集成電路用潔凈室的規劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時,潔凈廠房用設備和資料,如過濾器,潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產,雖然制作質量和某些工程指標與世界水平尚有差距,但已能滿足國內部分需求,到20世紀70年代末我國潔凈室規劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。