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標準氣體應用領域
常見的規范氣體按用途包括:氣體報警類規范氣體、電力動力類規范氣體、石油化工類規范氣體、環保監測類規范氣體、衛生類規范氣體、儀器儀表類規范氣體等。 規范氣還可用于環境監測,有毒的有機物丈量,汽車排放氣測驗,BTU丈量,校對規范,超臨界流體工藝等。規范氣視氣體組分數區分為二元,三元和多元規范氣體;配氣準度要求以配氣允差和剖析允差來表征;比較通用的有SE2MI配氣允差規范,但各公司均有企業規范。
組分的低濃度為10級,組分數可多達20余種。配制辦法可選用重量法,然后用色譜剖析校核,也可按規范傳遞程序進行傳遞。大型乙烯廠,合成氨廠及其它石化企業,在設備開車,泊車和正常出產過程中需要幾十種純氣和幾百種多組分規范混合氣,用來校準,定標出產過程中使用的在線剖析儀器和剖析原料及產品質量的儀器。規范氣體為氣體工業名詞。規范物質是濃度均勻的,良好安穩和量值準確的測定規范,它們具有復現,保存和傳遞量值的基本作用,在物理,化學,生物與工程丈量領域中用于校準丈量儀器和丈量過程,點評丈量辦法的準確度和檢測實驗室的檢測能力,確認材料或產品的特性量值,進行量值仲裁等。
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液態氦氣可以用于制冷,許多超導實驗都需要使用液態氦氣進行降溫處理。
液態氦氣就是在極低溫度下氣態氦氣轉化而來的液態氦,簡稱液氦。氦在通常情況下為無色、無味的氣體,沸點-268.785℃,它的沸點是已知物質中低的(比氫氣還要低)。所以當溫度在4.18K時,氣體氦氣的性質同一般液體一樣,加以適當的壓力就轉化為液態氦氣了。實際上液態氦氣的制作不僅僅需要低溫,要知道氦氣是沒有三相點的物質,想要液態氦氣除了低溫之外,還需要一定的壓力。
液態氦氣沸點極低,當溫度降至2.178K時,就轉變為一種粘度接近于零的具有流動性的液氦,此時的液態氦氣被稱為超流體。
液態氦氣已實際應用在許多晶圓處理程序步驟中,它可在高壓氣相化學沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用,并且它也可用作為攜載氣體應用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。
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氣體生產裝配至少配備下列安全設施:
發生器:溫度、壓力檢測設施;發生器與高位水槽設置液位控制裝置;發生器與氣柜間設置安全水封;多臺發生器的匯氣總管與每臺發生器之間、接至廠區的管道上設置安全水封或阻火器;發生器崗位設置氮氣置換裝置和防真空措施;發生器、氣柜、管道等設置防凍措施;
壓縮機前設置低壓安全水封或安全器;
氣柜與壓縮機設置低限報警聯鎖裝置;
壓縮機設置限壓報警聯鎖裝置;
壓縮機設置安全閥;
凈化崗位設置符合要求的沖洗和洗眼設施;
充裝排設置充裝用冷卻噴淋水和緊急噴淋裝置;
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