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真空計的校準
如今，真空在我們日常生活中被廣泛應用于產品的生產及制造，并且扮演著重要角色。例如：在科研，工業流程，手機芯片，硬盤，太陽能電池，塑料干燥或者食品真空包裝等領域。在當今的生產活動中，我們對真空度測量的性、標準化、可靠性和重復性的要求是至關重要的。當我們在進行測量的時候，高精度又是關鍵中的關鍵：
精度的高低會直接影響產品的生產質量，科學實驗的準確性和設備使用的可靠性。要確保真空計使用時的高可靠性，就必須經常對它進行校準或標定。而根據每個不同應用的具體要求，這些校準工作必須符合國內或相關的。經濟、有效果的國際化的機構校準及標定替代解決方案；生產活動中，真空計往往需要對外機構進行校準和標定。
然而在對量大或校準間隔要求短的條件下，使用經濟的測量儀器進行現場校準能大大節約時間和費用。inficon真空緊湊型的校準泵組就能夠組建起這樣一個系統。譜拓（）認為這個易于使用的便攜式系統是專為同時在線進行多個儀器檢測而量身定做的。其系統具有使用便捷、快速及符合人體工學標準的特點。
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什么是電離真空計的外控接法？有何好處？
答：如規管的柵極作為電子加速極，而板極作為離子收集極，此種接法即為外控接法。其好處是電子在加速中不易被柵絲截獲，并受燈絲和板極的電位排斥，可以在燈絲與板極的空間，反復穿過柵極來回振蕩，如此，可顯著提高測量的靈敏度。
影響熱陰極電離真空計測量下限的原因是什么？如何改進？
答：電子打到收集極上產生軟X射線輻射，離子收集極吸收了軟X射線會產生光電子發射，由此形成的電子電流正好與離子電流方向一致，故疊加在一起，但此電流與壓力無關，當壓力降低到形成的離子電流明顯小于光電流時，收集極的離子流便不再隨壓力變化，即到達測量下限。增大離子流，減小光電流可以使測量下限的拓展。
真空檢漏的意義？答：真空系統的極限真空決定于系統的抽速和漏氣量，故在抽速一定時，漏氣量就決定了真空度，欲使系統達到預定的極限真空，必須通過檢漏和堵漏使系統的漏氣量控制在允許漏率范圍內。
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電容-數字信號轉換器原理圖電路芯片利用IBM0.13umCMOS技術制造，CMOS電路板的尺寸為1950umx1850um，有效電路尺寸為263umx354um，采用2.5V電源供電，功率消耗約為0.69mW。在-20～225℃溫度范圍內，電路精度可達到2.4%，分辨率可達到1.44fF。
電容-數字信號轉換器電路布局和芯片顯微照片2.雙側電極微小電容測量敏感電容為雙側電極結構的inficon電容薄膜真空規管結構 ，敏感薄膜上的電極與上下硅基底上的電極構成了兩個隨真空度變化而變化的敏感電容。差動結構的敏感電容配合差動電路能準確感知薄膜的微小變化、減小寄生電容和耦合電容的影響、提高測量的共模抑制比，從而提高整個系統的分辨率，因此通常采用功耗低、易小型化集成的開關電容電路來構成差動測量電路。而隨著inficon傳感器的廣泛應用，具有可調性、能滿足不同設備需求的電路也比較受關注。
圖5雙側電極inficon電容薄膜真空規管結構圖官設計了一種具有可調靈敏度的針對差動電容結構的inficon電容式傳感器的信號測量電路。 電路包括傳感器電容CX1、CX2，寄生電容CP，輸入阻抗緩沖器R，前置可編程放大器，一個單位增益的反相放大器，相敏解調器，可調方波時鐘發生器，低通濾波器（LPF），可編程輸出放大器。可編程放大器提供了多個增益，使得電路可以根據信號的輸入強度及要求來選擇合適增益。
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伴隨著人工智能技術及其物聯網技術的發展趨勢，inficon電容塑料薄膜真空計的運用范疇早已從航天航空等高技術行業向通俗化行業擴展，這促使其需要量增大，類型大量，充分考慮銷售市場的產品研發經濟成本，產品研發和設計方案能達到不一樣種類的inficon電容塑料薄膜真空計的電路是下面inficon電容塑料薄膜真空計細微電容測量電路的具體發展前景。
上世紀50時代，D.J.Pacey科學研究用石英晶振測量氣體壓強。他選用雙三級管（整流管）做電路，其一側與晶振組成Pierce-Miller震蕩器，晶振放置被測汽體中作氣體壓強感應器。當氣體壓強轉變時，陽極氧化電流量也隨著轉變。據悉該儀器設備能測105Pa到13.3Pa的氣體壓強。
中國在90時代也有些人研發了石英真空計，常用電路是以晶振自身為頻率液壓控制系統的自震蕩，自電路。測量范圍為0.1Pa~2×105Pa。非常近大家研發的DL-10A型石英真空計選用FC135晶振，測量范圍為5×10-1~105Pa。現階段已經有石英真空計商品，例如：CC-10真空計測量范圍是1.33×10-2Pa到大氣壓力，M-320XG晶振真空計測量范圍是1X10-1Pa到大氣壓，DL-10A型石英真空計測量范圍是5X10-1Pa到大氣壓力。其特點為：感應器體型小，耗電量輸出功率小（約1W），精密度較高（約10%），測量范圍較寬（10-1~105Pa）等。
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