氦質譜檢漏儀的檢漏率應高于設備所允許漏率1-2個數量級。首先將設備穩固的置于明亮、透風良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。氦質譜檢漏主要領域：原子能工業——氣體擴散處理系統；高能物理研究院——及其配件；

實驗程序中明確規定了密封繼電器的檢漏條件及步驟，本次主要討論背壓法檢漏屬于檢漏步驟中的細檢漏。繼電器的背壓檢漏法一般分為三步: 1加氦壓:將被檢繼電器放入充氦的壓力罐中; 2凈化:從壓力罐中取出繼電器，用氮氣流或者空氣流吹凈繼電器表面吸附的氦氣。3檢漏:將繼電器放入檢漏儀的檢漏盒中進行檢測，若繼電器有漏，壓入內腔的氦氣會經過漏孔進入檢漏儀，儀器上會有漏率顯示。

主要檢測范圍包括下面一些設備 部件:凝汽器及相連的負壓系統，包括凝汽器與汽側相聯設備管道，有二級旁路、三級誠溫器、疏水擴容器、低加疏水、軸加疏水、空氣管道、給水泵密封水回水、真空破壞門、水位計等;低壓缸部分，包括低壓排汽、末級抽汽管道和加熱器部分，次末級抽汽管道和加熱器部分，低壓缸上方防爆膜及其結合面法蘭、低壓缸汽封以及接合面等:其他部分，包括真空壓力表頭、排汽缸溫度計套管、電接點水位計、疏水泵、凝結水泵機械密封等。