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給出不單獨(dú)設(shè)置粗抽管道、不設(shè)置高真空閥門的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng),這個(gè)系統(tǒng)的真空室是直接通過渦輪分子泵進(jìn)行粗抽的。因?yàn)橄到y(tǒng)上沒有粗抽管道,所以就不存在因粗抽管道而帶來的污染和切換區(qū)域不適當(dāng)?shù)葐栴}。從結(jié)構(gòu)上看,系統(tǒng)也變得更簡單了。它沒有粗抽閥、管道和冷阱,也不需要高真空閥,只需要一個(gè)電離規(guī)和一個(gè)熱傳導(dǎo)規(guī)。

每當(dāng)打開真空室暴露大氣時(shí),就必須把整個(gè)系統(tǒng)停機(jī),而后再重新啟動(dòng)。這就使得液氮冷卻表面使用起來不方便,因?yàn)槊慨?dāng)系統(tǒng)停機(jī)時(shí),必須將冷卻表面升溫。1-檢漏接口閥;2-渦輪分子泵;3-放氣閥;4-電離規(guī);5-熱傳導(dǎo)規(guī);6-真空管路閥;7-電磁放氣閥;8-機(jī)械泵。圖2不用閥門的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)同時(shí),啟動(dòng)渦輪分子泵和機(jī)械泵,通過渦輪分子泵進(jìn)行粗抽,必須正確選配前級機(jī)械泵。

如果機(jī)械泵的抽速小,它是不能在渦輪分子泵達(dá)到很大轉(zhuǎn)速以前把真空室抽到過渡區(qū)的。當(dāng)出現(xiàn)這種情況時(shí),電動(dòng)機(jī)的過流保護(hù)電路就會(huì)把渦輪分子泵關(guān)掉。抽速大小合適、運(yùn)轉(zhuǎn)適當(dāng)?shù)臋C(jī)械真空泵應(yīng)該是在渦輪分子泵達(dá)到其額定轉(zhuǎn)速的75%左右時(shí)就能把真空室抽到20~200Pa,這樣也可防止機(jī)械泵油的返流。大多數(shù)渦輪分子泵所設(shè)計(jì)的啟動(dòng)加速時(shí)間為5~10min。
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分子泵機(jī)組耗電:
2.38kW×6720h=年耗電15993.60度×1元/度
=15993.60元原來的耗電:
8.8kW×6720h=年耗電59136度×1元/度
=59136元通過上述計(jì)算,幾乎當(dāng)年就能從電費(fèi)一項(xiàng)收回投資費(fèi)用:
59136-15993.60=43142.40元
第二年使用分子泵機(jī)組電費(fèi)節(jié)約贏利43142.40元。

該分子泵近乎免維護(hù),所以如果考慮維護(hù)費(fèi)用,經(jīng)濟(jì)效益更可觀。該分子泵替換運(yùn)用的成功,為節(jié)能減排貢獻(xiàn)巨大力量,做到了制造應(yīng)用與雙贏,并且拓展了分子泵的應(yīng)用領(lǐng)域。其他好處除了節(jié)省成本以外,通過對分子泵替換的圓排車所制造的節(jié)能燈進(jìn)行測試,燈具在產(chǎn)品壽命和質(zhì)量上也得到明顯提高,通過質(zhì)譜分析,系統(tǒng)的油污染得到降低,光譜等分析都顯示,應(yīng)用分子泵排氣制造的燈具性能有很大的改善。

與此同時(shí),根據(jù)在其他多家特種燈(金鹵燈、航標(biāo)燈等)、車燈、半導(dǎo)體照明燈客戶的實(shí)際應(yīng)用反饋,分子泵對降低生產(chǎn)能耗、提高產(chǎn)品性能和使用壽命等方面都起到明顯的促進(jìn)作用。在部分國內(nèi)外愛發(fā)科的照明生產(chǎn)企業(yè)中的應(yīng)用,分子泵都得到好評和大量替換配套。結(jié)語通過這個(gè)案例可以看出,將高壓強(qiáng)分子泵機(jī)組直接用到圓排機(jī)上,實(shí)現(xiàn)了降耗節(jié)能、保證質(zhì)量的目標(biāo),完全可以替代。
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噪音測試通過在以下12種不同運(yùn)行狀態(tài)和方向下對一批泵進(jìn)行一系列測試,來驗(yàn)證泵噪音:垂直、水平和翻轉(zhuǎn)位置;高溫和低溫;全速和低速。在正常運(yùn)行狀態(tài)下,168次測量得到的平均噪音為41dB(A)+/-3σ。包裝測試通過對帶包裝的泵進(jìn)行測試來驗(yàn)證包裝性能,在測試時(shí),使帶包裝的泵從96厘米/37.8英寸的高度以各種角度跌落18次。確保在運(yùn)輸過程中不會(huì)因跌落或運(yùn)輸而損壞。

無論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看,重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展源源不斷地給半導(dǎo)體行業(yè)注入嶄新活力。真空技術(shù)作為一門與應(yīng)用科學(xué)緊密結(jié)合的現(xiàn)代基礎(chǔ)科學(xué),在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。其中,分子泵作為很多半導(dǎo)體制造設(shè)備的零部件之一,廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)制造的各個(gè)工藝。

下面小編就帶您走進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,并一起探索分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈包括上游的半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè),中游的半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)以及下游的半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)包括半導(dǎo)體材料及設(shè)備,其中真空產(chǎn)品主要在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域應(yīng)用;中游半導(dǎo)體制造的是集成電路制造,包括IC設(shè)計(jì)、IC制造以及IC封測;下游的半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域眾多,半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域的行業(yè)是通信及智能手機(jī)、PC/平板、工業(yè)/。
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近日,真空推出了一款新型渦輪分子泵,便是對此交出的一份答卷。這款分子泵的壽命更長,而且采用了該公司開發(fā)的一項(xiàng)技術(shù),使得真空設(shè)備更加耐用,振動(dòng)水平更低,噪音更小。真空的渦輪分子泵.具體來講,通過分配幾何確定的動(dòng)平衡孔和漸近的動(dòng)平衡配重法,利用激光燒蝕把多余的材料去除,如此一來,轉(zhuǎn)子的不均勻質(zhì)量分布能夠在所有點(diǎn)位逐個(gè)進(jìn)行的處理,來達(dá)到很佳的動(dòng)平衡性。

與傳統(tǒng)動(dòng)平衡相比,用激光去除材料要準(zhǔn)確得多,剩余不平衡會(huì)更低。而且在這個(gè)過程中,材料特性并不會(huì)受到影響。可以說,改變了傳統(tǒng)的動(dòng)平衡過程,將不均勻的質(zhì)量分布降到了很低。采用傳統(tǒng)動(dòng)平衡(左)和采用激光燒蝕段的激光動(dòng)平衡(右)動(dòng)平衡等級對比.據(jù)了解,通過現(xiàn)代化的自動(dòng)平衡系統(tǒng),渦輪分子泵轉(zhuǎn)子的動(dòng)平衡品質(zhì)提高了20%,從而大幅提高轉(zhuǎn)子壽命,并降低泵在運(yùn)行期間的振動(dòng)和噪音水平。

值得一提的是,激光燒蝕產(chǎn)生的顆粒,在加工過程中即可抽出和過濾掉,隨后對激光平衡后的轉(zhuǎn)子進(jìn)行清潔,由于無需手動(dòng)擰緊螺絲,所以確保了表面的很高清潔度,并且也避免了平衡孔中的氣穴造成的虛漏現(xiàn)象。因此,用技術(shù)加持的渦輪分子泵可以滿足更為苛刻的工作環(huán)境要求,尤其是在需要更低振動(dòng)和靜音的應(yīng)用中,該系列渦輪分子泵可以大大提升用戶體驗(yàn)。
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