廢氣uv光氧催化設備主要是利用高能高臭氧UV紫外線光束作為催化反應條件來進行有機廢氣處理，而應用于工業有機廢氣處理中的紫外線波長為154-254nm，波長越短能量越大。在這個波長區域中，由于154-185nm的波長相對較短所以有機廢氣處理反應的空間范圍也較小，而184-254nm盡管能量較小，但波長長有機廢氣處理的空間范圍相對較大。

催化燃燒階段溶劑經風機送入到催化燃燒室前的換熱器，然后進入催化燃燒室中的預熱器，在電加熱器的作用下，使氣體溫度提高到250-300℃左右，再進入催化燃燒床，有機物質在催化劑的作用下無焰燃燒，被分解為CO2和H2O，同時放出大量的熱，氣體溫度進一部提高，該高溫氣體再次經過換熱器預熱未經處理的有機氣體，回收一部分熱量。從換熱器出來的氣體再通過新風入口的換熱器對脫附新鮮空氣進行加熱，經過換熱后的氣體通過煙囪引高排放。

工業有機廢氣低溫等離子體處理設備燃燒法是處理高濃度VOC和惡臭化合物的有效方法。其原理是利用多余的空氣來燃燒這些雜質，其中大部分是產生的二氧化碳和水蒸氣，并可以釋放到大氣中。當吸附進行了一段時間,因為表面的濃度吸附劑,吸附能力顯著降低,吸附凈化的要求,此時,有必要采取某些措施,使吸附劑吸附吸附劑解吸,配合吸附能力,這個過程稱為吸附劑的再生。VOCs氣體解吸后經過冷凝器和氣液分離器，純VOCs氣體離開汽提塔回收。