真空箱氦檢漏的特征和優點

1、高壓氮氣強度檢測真空箱內進行，保護操作者安全

2、真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、。

3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序，可隨時校準檢漏儀的靈敏度、準確度。

4、特殊設計的檢測程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

5、技術的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統的操作安全及可靠運行。

7、PLC控制，使系統運行清晰明了，實現了實時監測及控制。

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逆流氦質譜檢漏儀

逆流氦質譜檢漏儀的結構特點如圖5所示。該類儀器是根據油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關的原理制成的。例如，多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為102;對空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時，通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣，仍有部分返流到質譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。這就是逆流氦頃質譜檢漏儀的工作原理。氣密性要求：對于兩器產品，充注一定壓力R134a制冷劑，泄露量小于2克/年。

氦檢漏設備

（1）對于壓氦法，不需要考慮地球干潔大氣氦分壓的影響。但是如果候檢環境大氣氦分壓顯著升高，對于內腔有效容積大，且等效標準漏率小的密封器件，會加大測量漏率值，所以壓氦結束后，被檢器件應盡快離開壓氦設備所在的房間。

對于預充氦法，地球干潔大氣氦分壓會使測量漏率通過極大值后出現值，且當候檢時間與內腔有效容積之比大于100 h/ cm3 時，值點仍處于分子流范圍，不能靠粗檢法鑒別，所以需輔以壓氦法復檢，才能防止漏檢。

（3）地球干潔大氣氦分壓會使預充氦法候檢時間的特征點變大，從而擴大了需要輔以壓氦法復檢的范圍，但第二特征點不變，也不影響壓氦法復檢的結果。