氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。空調(diào)檢漏設(shè)備真空系統(tǒng)檢漏中不論是采用哪種氣泡檢漏法，應(yīng)用中需要注意：1、示漏氣體的種類與壓力會(huì)影響檢測(cè)靈敏度。子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。漏孔可以將漏液以非常緩慢的速度送到泄漏處的表面，以致于液體在到達(dá)物體外部的表面時(shí)，即被蒸發(fā)。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主品。

機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦檢漏設(shè)備

氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲顯著減小.其靈敏度可達(dá)10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)1．配置與氣路控制真空箱：一般為雙工位，兩個(gè)不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動(dòng)方式。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。

氦檢漏設(shè)備

氦罩法

在這種方法中，用塑料薄膜包裹被測(cè)容器，首先除去罩子中的空氣，然后充入氦氣或氦氣混合氣體，檢漏儀與被測(cè)容器的內(nèi)部連接，當(dāng)檢漏儀顯示泄漏率時(shí)，指示泄漏。這個(gè)泄漏率稱為總泄漏率。總泄漏率是所有泄漏率的總和。如果總泄漏率不超過標(biāo)準(zhǔn)值，則每個(gè)泄漏率不超過標(biāo)準(zhǔn)值；如果總泄漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值，檢查每個(gè)點(diǎn)的泄漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。設(shè)備到貨后，供方在7天內(nèi)盡快安裝完成，并由用戶進(jìn)行水、電、氣等的配套安裝之后，供方再對(duì)設(shè)備進(jìn)行調(diào)試。然后調(diào)整修改超過標(biāo)準(zhǔn)值的泄漏孔，直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)。