超純金屬，指的化學(xué)雜質(zhì)和物理雜質(zhì) (晶體缺陷) 含量的金屬。目前主要以化學(xué)雜質(zhì)的含量為標(biāo)準(zhǔn)，常以雜質(zhì)在金屬中總含 量的百萬(wàn)分之幾表示 。超純金屬是相對(duì)高純度的金屬，一般指金屬純度達(dá)到純度9以上的金屬，物理雜質(zhì)的概念才是有意義的。

材料的純度對(duì)其性能，特別是微電子學(xué)、光電子學(xué)性能影響很大，現(xiàn)代高技術(shù)產(chǎn)業(yè)要求制備出超純金屬以利于制作器件。

工業(yè)上大量使用的是工業(yè)純稀土金屬，較高純度的稀土金屬主要供測(cè)定物理化學(xué)性能之用。主要有四種提純方法在試驗(yàn)室中使用，即真空熔融，真空蒸餾或升華，電遷移和區(qū)域熔煉。但導(dǎo)電橡膠的導(dǎo)電率是如此之高，以致其不能對(duì)色粉充電至較高程度。 稀土金屬棒在區(qū)域熔煉爐中以很慢的速度（如提純釔時(shí)為0.4毫米/分），進(jìn)行多次區(qū)熔，對(duì)去除鐵、鋁、鎂、銅、鎳等金屬雜質(zhì)有明顯效果，但對(duì)氧、氮、碳、氫無(wú)效。此外，電解精煉、區(qū)熔－電遷移聯(lián)合法提純稀土也有一定效果。

人類社會(huì)的存在，科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和發(fā)展，已成為21世紀(jì)世界各國(guó)首要的戰(zhàn)略儲(chǔ)備物資，且與各國(guó)的政治經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展有著息息相關(guān)的緊密聯(lián)系，在已知的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域中，高純材料、合金、各種深加工的制品（半成品）及化學(xué)制品，已被廣泛應(yīng)用到冶金鋼鐵，石油化工，有機(jī)化工，化工，電子電器，汽車制造，光學(xué)玻璃，玻璃纖維。超純金屬超純的純度也可以用剩余電阻率來測(cè)定，其值約為2×10-5。

金屬靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。

簡(jiǎn)單說的話，例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜......鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

應(yīng)用于顯示屏的阻擋層或調(diào)色層，筆記本電腦的裝飾層、電池的封裝等.