在循環用水系統以及水的再生處理中，原水是廢水，成品水是用水，加工過程兼具給水處理和廢水處理的性質。水處理還包括對處理過程中所產生的廢水和污泥的處理及ZUI終處置（見污泥處理和處置），有時還有廢氣的處理和排放問題。采用紫外消毒時，不同的對像菌致死所需的照射能量差異較大，另一方面原水水質對紫外殺菌效果也有影響，紫外線因在水中的穿透能力有限而難以達到理想效果。水的處理方法可以概括為三種方式：①常用的是通過去除原水中部分或全部雜質來獲得所需要的水質；②通過在原水中添加新的成分，通過物理或化學反應后來獲得所需要的水質；③對原水的加工不涉及去除雜質或添加新成分的問題。

水經過濾后，濁度進一步降低，同時亦使殘留xi菌、病毒等失去渾濁物保護或依附，為濾后消毒創造良好條件。消毒并非把微生物全部消滅，只要求消滅致病微生物。水處理包括：污水處理和飲用水處理兩種，有些地方還把污水處理再分為兩種，即污水處理和中水回用兩種。雖然水經混凝、沉淀和過濾，可以除去大多數xi菌和病毒，但消毒則起了保證飲用達到飲用水xi菌學指標的作用，同時它使城市水管末梢保持一定余氯量，以控制xi菌繁殖且預防污染。消du的加氯量（夜氯）在1.0-2.5g/m3之間。主要是通過氯與水反應生成的次氯酸在xi菌內部起氧化作用，破壞xi菌的酶系統而使xi菌滅亡。消毒后的水由清水池經送水泵房提升達到一定的水壓，在通過輸、配水管網送給千家萬戶

自1902年在德國帕德博恩建立了第YI大規模水廠以來，世界上已有數千個臭氧水廠，在歐洲已達到普及的程度，美國、加拿大、日本等國家都在大力發展臭氧處理飲用水工程。1980年加拿大蒙特利爾建成世界zui大的臭氧水處理廠，日供水量230萬噸，臭氧用量300kg/h。185納米和254納米波長的紫外線都被證實可以有效地破壞余氯和氯氨的化學鍵。zui新資料介紹，臭氧發生器單產量已達300kg O3/h，足夠一個中等城市飲用水廠消毒使用。

我國由于經濟發展水平限制，自來水廠應用臭氧消毒工藝比較少，北京、上海、撫順等地在20世紀80年代建立了幾個水廠，以北京田村水廠規模zui大，臭氧裝機總量15 kg/h，1997年昆明建成我國zui大的臭氧水廠，臭氧裝機總量33 kg/h，對提高供水質量發揮了重要作用。人類進行水處理的方式已經有相當多年歷史，物理方法包括利用各種孔徑大小不同的濾材，利用吸附或阻隔方式，將水中的雜質排除在外，吸附方式中較重要者為以活性炭進行吸附，阻隔方法則是將水通過濾材，讓體積較大的雜質無法通過，進而獲得較為干凈的水。我國一些大型企業自供水采用臭氧消毒工藝比較積極，如大慶、勝利油田、燕山石化等臭氧水廠都在運行。