廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安真空泵保養費用

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分子泵是高速旋轉的機械，軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態不良時，會有一系列的現象，如分子泵無法啟動，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環境和進排氣壓力過高等外界因素后，應盡快停泵，送到維修中心進行檢修。

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電壓的不穩定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

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振動頻率為60%-工作轉速，或者是密封間隙過大，護圈松動，密封磨損

處理方法：檢查、調整或更換密封；

振動頻率為2倍工作轉速,不對中，聯軸器松動，密封裝置摩擦，殼體變形，軸承損壞，支承共振，推力軸承損壞，軸彎曲，不良的配合

處理方法：檢查，采取相應措施，修理、調整或更換；

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分子泵在運轉過程中，出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現象仍如此，請問該現象如何解釋？

原因：負載太大，系統真空度不夠

解決方法：檢查系統

如在陰冷潮濕的環境或抽除弱酸氣體的環境使用，停機前抽入一定量的干燥空氣；如遇突然停水，停水以后應即刻停泵，否則泵會因過熱而卡死或燒毀電機等；泵工作時不要頻繁起停，這樣會影響泵的壽命。