復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。無塵室主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。蘇州卓宇泰為您介紹潔凈室工作人員應遵循的規程，有關服裝和個人用品方面的要求，供讀者參考。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。　單流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室，由于微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要，因此多只需要測量風量。

(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經濟性一般往往可取。

(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率時，對大的系統采用FFU，當前還是不經濟的;對小系統有意義作具體比較。

(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統已經普遍。