對檢漏方法的要求：穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；氦質譜檢漏主要領域：空調制冷工業——壓縮機、冷凝器、蒸發器及閥門等；真空科學與工業——泵、閥門、真空規管以及鍍膜機、真空爐等真空系統；對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。

氦氣檢漏儀可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；檢漏儀啟動時間：≤5min。響應時間：≤1s檢漏口的。高壓力：1500Pa。電源要求：220v，50Hz，單相，10A。工作環境：5-35℃檢漏儀自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

為了避免事故的發生，化工廠商在投建廠房時就應該對化學管道和設備做氣密檢漏并且后期生產中也需要定期檢漏。氦質譜檢漏設備檢漏過程中，如發現大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。對檢漏方法的要求：檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；反應時間短，可以提高工作效率；根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。