貼合式兆聲清洗
頭貼近被清洗物,清洗效率更大程度減少清洗液使用量清洗精度高,可去除0.2微米的污漬顆粒超低的聲空化效應(yīng),不損傷器件表面石英或藍(lán)寶石耦合技術(shù),無雜質(zhì)脫落風(fēng)險腐性,可耐各種酸堿溶液及。
兆聲清洗利用兆赫茲級別的超高頻超聲波能量推動基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng),兆聲波空化效應(yīng)可清除更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。
兆聲波清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)
兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn),而且克服了它的不足。在清洗時,由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運(yùn)動,瞬時速度可達(dá)到30cm/s。因此,形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時起到機(jī)械擦片和化學(xué)清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。
1、遵守鑄造設(shè)備通用操作規(guī)程。2、工作前還必須遵守:a、檢查管路系統(tǒng)有無漏氣漏水的情況,如有這種情況,應(yīng)通知維修人員修理。b、檢查清洗液是否足夠,如果不夠,及時增加清洗液。c、先點(diǎn)動試車,然后空運(yùn)轉(zhuǎn)2-3分鐘,檢查傳動系統(tǒng)(電動機(jī)、聯(lián)軸節(jié)、減速器)和運(yùn)輸帶的運(yùn)動是否平穩(wěn),確認(rèn)一切正常后,方可進(jìn)行生產(chǎn)。d、開啟浮油排除裝置(不帶浮油排除裝置除外)開始浮油排除,因此時水泵尚開啟,水面平靜,排油,待浮油基本排除后停止除油,排油污多克利用午休時間進(jìn)行。
超聲波清洗原理
超聲波是一種頻率超出人類聽覺范圍20 kHz以上的聲波。超聲波的傳播要依靠彈性介質(zhì),其傳播時,使彈性介質(zhì)中的粒子振蕩,并通過介質(zhì)按超聲波的傳播方向傳遞能量,這種波可分為縱向波和橫向波。在固體內(nèi),兩者都可以傳送,而在氣體和液體內(nèi),只有縱向波可以傳送。超聲波能夠引起質(zhì)點(diǎn)振動,質(zhì)點(diǎn)振動的加速度與超聲頻率的平方成正比。因此,幾十千赫茲的超聲會產(chǎn)生極大的作用力,強(qiáng)超聲波在液體中傳播時,由于非線性作用,會產(chǎn)生聲空化。在空化氣泡突然閉合時發(fā)出的沖擊波可在其周圍產(chǎn)生上千個大氣壓力,對污層的直接反復(fù)沖擊,一方面破壞污物與清洗件表面的吸附,另一方面也會引起污物層的破壞而脫離清洗件表面并使它們分散到清洗液中。氣泡的振動也能對固體表面進(jìn)行擦洗。氣泡還能“鉆入”裂縫中做振動,使污物脫落。對于有油脂性污物,由于超聲空化作用,兩種液體在界面迅速分散而乳化,當(dāng)固體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時,油被乳化,固體粒子即脫落。空化氣泡在振動過程中會使液體本身產(chǎn)生環(huán)流,即所謂聲流。他可使振動氣泡表面存在很高的速度梯度和粘滯應(yīng)力,促使清洗件表面污物的破壞和脫落,超聲空化在固體和液體表面上所產(chǎn)生的高速微射流能夠除去或削弱邊界污層,腐蝕固體表面,增加攪拌作用,加速可溶性污物的溶解,強(qiáng)化化學(xué)清洗劑的清洗作用。此外,超聲振動在清洗液中引起質(zhì)點(diǎn)很大的振動速度和加速度,亦使清洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖擊。